[实用新型]一种热电偶锁定器

说明书

本实用新型是一种热电偶锁定器，结构包括底座、定位销、锁紧螺母、紧定螺钉，所述底座与定位销通过锁紧螺母固定连接，所述紧定螺钉与定位销固定连接，本实用新型通过定位销与紧定螺钉固定热电偶，定位销可以在底座上移动或旋转，从而找到热电偶插入炉体的最佳位置，紧定螺钉的锁紧方式有效的解决了热电偶在炉体上固定不牢靠的问题，且锁定热电偶后，热电偶插入炉体内的深度及自身角度可以精确调整，安装拆卸方便，结实耐用。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造行业温度控制领域，特别是一种热电偶锁定器。

背景技术

在半导体专用设备中，扩散炉是集成电路制造工序的重要设备之一，它的主要用途是对半导体硅片进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变与控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域，扩散炉温度信号采集是靠热电偶温度传感器实现的，然而在扩散炉上固定热电偶，并且使热电偶能够稳定，准确的传输温度信号是个长期以来亟待解决的难点，传统的固定方式，是采用瓷块咬合式或者捆绑式固定，瓷块咬合式，采用单点固定，不够牢固，而且瓷块内弹簧受到高温容易老化失效，热电偶的插孔没有隔热密封，导致热量外泄，使探测点信号不稳定；捆绑式，容易拉断热电偶，而且工作时，常需要转动热电偶使双探头的两个温度信号一致，旋转调整角度后，热电偶很容易发生位移，不够牢固，而且受高温影响，不方便安装和拆除。

如何使热电偶固定牢靠，定位精准，方便调节热电偶位置，避免热电偶插孔热量外泄，而且方便安装和拆除是扩散炉温度信号采集的关键。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种热电偶锁定器，该装置能够精确固定热电偶位置，固定牢靠，而且使热电偶传输信号稳定，方便安装和拆除。

为达到以上目的，提供以下技术方案：

一种热电偶锁定器，其特征在于，结构包括底座、定位销、锁紧螺母、紧定螺钉，所述定位销、锁紧螺母和锁紧螺钉均位于底座的上方，所述底座底面的左右两侧各设有一处向上突起的固定块，底座底面的前后两侧各设有两处向下突起的卡爪，所述两处固定块上各设有一个长孔，所述紧定螺钉与定位销固定连接，所述定位销的前端穿过其中一处固定块的长孔，并通过锁紧螺母与该处长孔固定连接，从而实现定位销与底座的固定连接，所述底座底面上还设有两个长方形的探测孔与两个长条形的固定孔。

优选地，所述锁紧螺母两个一组，成组使用，固定时，一组中两个螺母分别位于固定块的两侧。

优选地，所述定位销前段为螺纹结构，尾段为圆柱体，所述定位销的前端贯穿两个锁紧螺母与长孔，所述定位销的尾端的侧面设有一定深度的螺纹孔，所述紧定螺钉与螺纹孔相互连接。

优选地，以所述两个固定孔连线中点的垂直线为对称轴，底座的结构左右对称。

优选地，所述定位销尾端还设有一通孔，所述通孔与螺纹孔相互贯穿，且通孔与螺纹孔各自的轴线相互垂直。

优选地，所述长孔的宽度大于定位销前段的直径，锁紧螺母松开时，定位销可在长孔内移动。

优选地，所述通孔的位置恰好位于底座左侧的探测孔区域的正上方。

本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型通过多个方向限定热电偶的移动，使热电偶能够固定牢靠，而且热电偶固定后还可进行位置调节，使其定位精准。

2.本实用新型的卡爪之间空隙部位可填充保温材料，使得热电偶的插孔隔热密封，不会导致热量外泄，探测点信号稳定。

3.本实用新型操作简单，在受高温影响时，能够方便安装和拆除。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中底座的结构示意图；