[实用新型]一种压阻压力传感器芯片在片测试装置

权利要求书

1.一种压阻压力传感器芯片在片测试装置，其特征在于：包括控制主机、压力控制装置、压力空气探针和测试仪表，所述控制主机用于远程控制压力控制装置，并接收压力控制装置反馈的信号，所述压力控制装置用于接收控制主机的信号并输出对应压力的压缩空气到压力空气探针，所述压力空气探针用于将接收到的压缩空气喷射至压阻压力传感器芯片的相应区域上，压阻压力传感器芯片与测试仪表通信连接，压阻压力传感器芯片用于接收压力空气探针的空气压力并输出相应的电信号至测试仪表。

2.根据权利要求1所述的一种压阻压力传感器芯片在片测试装置，其特征在于：所述压力控制装置包括空压机、储气罐和压力控制阀，空压机的输出端与储气罐的输入口连接，压力控制阀的进口与储气罐的输出口连接，压力控制阀的出口与压力空气探针的进口端连接，空压机的压力控制端与控制主机的I/O端通信连接，储气罐上的压力反馈端口与控制主机的I/O端通信连接，压力控制阀的控制端与控制主机的I/O端通信连接。

3.根据权利要求1所述的一种压阻压力传感器芯片在片测试装置，其特征在于：所述的控制主机还设置有软件系统，所述的软件系统包括压力控制装置的通讯、设置并控制管路气压、读取管路气流主要参数。

4.根据权利要求3所述的一种压阻压力传感器芯片在片测试装置，其特征在于：管路气流主要参数包括气流即时流量、阀负载、历史总流量、气流温度。

5.根据权利要求1所述的一种压阻压力传感器芯片在片测试装置，其特征在于：所述的测试装置还包括探针台和定位器，所述定位器的固定端安装在探针台上，定位器的移动端用于安装压力空气探针，压阻压力传感器芯片固定在探针台上，定位器用于移动压力空气探针与压阻压力传感器芯片对应。