[实用新型]一种用于高纯碲蒸馏的增效装置

说明书

一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，安装在真空蒸馏炉的恒温段与冷却结晶段之间，用于解决现有技术中恒温段热量扩散到冷却结晶段，影响冷却结晶段底部结晶的问题，其结构包括导流筒、冷却装置，导流筒位于真空蒸馏炉内，吸收部分恒温段的热量，减少冷却结晶段底端的受热面积，冷却装置设置在炉壁外，对冷却洁净区部分的炉壁进行冷却，进一步降低冷却结晶段的温度；本实用新型结构简单，对冷却结晶段底部的降温作用显著，结晶更均匀。

技术领域

本实用新型属于高纯碲蒸馏设备技术领域，具体涉及一种用于高纯碲蒸馏的增效装置。

背景技术

纯度在5N及以上的高纯碲是半导体器件的重要原料，通常采用真空蒸馏来进行量产，理论上，碲是低熔点、高蒸汽压元素，真空蒸馏过程中易于绝大多数杂质分离，现有技术提供的高纯碲蒸馏炉自下而上一般分为加热蒸发区、恒温区和冷凝结晶区，传统蒸馏炉的恒温区和冷凝结晶区直接连通无间隔，恒温区顶部热量容易向冷凝结晶区底部扩散，影响碲蒸气冷凝结晶面积，使冷凝结晶区底部结晶减少，造成结晶不均匀，影响高纯碲产品产量及质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，不仅有效降低恒温区的温度向冷凝结晶区扩散，而且能够提高产品产量。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，包括：真空蒸馏炉、增效装置，所述增效装置包括导流筒、固定杆，所述导流筒是圆柱体，通过固定杆竖直固定在真空蒸馏炉内的恒温段以及冷却结晶段中，导流筒朝下的端面设置有弧形凸起；所述固定杆两端分别与导流筒、真空蒸馏炉炉壁采用螺栓连接等可拆卸连接方式进行连接，将导流筒固定在真空蒸馏炉内。

进一步地，还包括冷却装置，所述冷却装置设置在炉壁冷却结晶区部分的外侧，对冷却结晶区部分的炉壁进行冷却。

进一步地，所述冷却装置是内部通有流动水的冷却水管。

进一步地，所述导流筒的截面直径是炉体内腔截面直径的3/10~4/10。

本实用新型至少具有以下有益效果：

（1）导流筒设置在恒温区以及冷凝结晶区之间的部分，能够吸收部分恒温区上升的气体温度，适当阻隔恒温区顶部热量扩散至冷凝结晶区。

（2）导流筒位于蒸馏炉内，占据了蒸馏炉内的部分空间，使得被蒸发的物质在导流筒两侧流动速度更快，使冷却区较远的部分也会有碲结晶，结晶更均匀。

（3）导流筒通过固定杆与炉壁固定，同时通过炉壁将热量散出。

（4）冷却结晶区外设置有冷却装置，通过冷却装置来降低冷却结晶区以及导流筒的温度。

附图说明

构成本申请一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

附图中：

图1示意性示出了本实用新型的结构示意图；

其中，上述附图包括以下附图标记：

1-炉壁，21-导流筒，22-固定杆，3-冷却装置。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明；除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。