[实用新型]一种刚性复合型压印模具有效
| 申请号： | 201921263251.3 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN211367710U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 林晓辉;成海涛;杨兆国;顾永新 | 申请（专利权）人： | 上海量子绘景电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04;C23C14/16;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201806 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 刚性 复合型 压印 模具 | ||
【权利要求书】：
1.一种刚性复合型压印模具，其特征在于，所述压印模具包括：
刚性基材，包括基底及形成于所述基底上表面的凸起结构；
金属脱模层，形成于所述基底的上表面及所述凸起结构的表面；
至少一层金属结合层，形成于所述刚性基材和所述金属脱模层之间。
2.根据权利要求1所述的刚性复合型压印模具，其特征在于，所述金属脱模层包括金属镍层，其中所述金属镍层的厚度介于0.005μm～2μm之间。
3.根据权利要求1所述的刚性复合型压印模具，其特征在于，所述金属结合层包括金属钛层、金属铜层、金属铬层或金属钽层，其厚度小于等于0.1μm。
4.根据权利要求1所述的刚性复合型压印模具，其特征在于，所述金属结合层的层数小于等于5层。
5.根据权利要求4所述的刚性复合型压印模具，其特征在于，所述金属结合层的层数大于等于2，小于等于3。
6.根据权利要求4所述的刚性复合型压印模具，其特征在于，在所述金属结合层的层数大于2时，相邻两层所述金属结合层的材质不同；其中，所述金属结合层包括金属钛层、金属铜层、金属铬层或金属钽层。
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