[实用新型]一种视觉补偿硅片置入载板机构

权利要求书

1.一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，所述的载板机构包括两条平行设置的X向直线电机、安装在两个X向直线电机之间的Y向直线电机、安装在Y向直线电机上的吸盘组件，所述的Y向直线电机能够在X向直线电机的驱动下沿X向移动，吸盘组件能够在Y向直线电机的驱动下沿Y向移动，

所述的吸盘组件包括L型的第二连接件，所述的第二连接件包括安装在Y向直线电机上的水平安装板及竖直设置的竖直安装板，所述的竖直安装板上设置有两个Z向导轨，所述的吸盘组件还包括两个能够分别沿两个Z向导轨移动的滑块、驱动所述的滑块沿Z向导轨移动的Z轴升降汽缸、与所述的滑块固定连接的吸盘安装板，所述的吸盘安装板水平设置，所述的吸盘安装板的底部安装有多个用于吸取硅片的吸盘。

2.如权利要求1所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，每个所述的吸盘对应的安装有一个硅片检测传感器，所述的硅片检测传感器用于检测所述的吸盘是否吸取硅片。

3.如权利要求1所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，两条所述的X向直线电机上分别安装有一第一连接件，两个第一连接件之间安装有一横梁，所述的Y向直线电机安装在所述的横梁上，所述的X向之间电机用于驱动所述的第一连接件来驱动所述的Y向直线电机沿X向移动。

4.如权利要求3所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，所述的Y向直线电机位于所述的X向之间电机的下侧。

5.如权利要求1所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，所述的载板机构还包括用于放置硅片的载板、用于定位载板的多个定位组件，所述的载板位于两个X向直线电机的之间，且位于X向直线电机的下侧。

6.如权利要求5所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，多个定位组件包括4个第一定位组件和4个第二定位组件，所述的载板的每条边相对应的安装有两个定位组件，所述的第一定位组件分别设于载板的X向边的一侧，用于对所述的载板的X向边缘施加Y向的作用力，所述的第二定位组件分别设于载板的Y向边的一侧，用于对所述的载板的Y向边缘施加X向的作用力。

7.如权利要求6所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，所述的第一定位组件包括载板定位汽缸安装座、安装在所述的载板定位汽缸安装座上的载板定位汽缸、设置在载板定位汽缸的活塞杆端部的载板定位块，所述的载板定位块用于对载板的边缘施加作用力。

8.如权利要求7所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，所述的载板的一组对角位置的上侧还分别设置了一载板定位相机，每个所述的载板定位相机的下侧还对应的设置有一光源，所述的光源位于所述的载板的下侧。

9.如权利要求8所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，所述的载板机构还包括一硅片定位相机，所述的硅片定位相机的高度低于所述的载板的高度，所述的硅片定位相机用于对吸盘组件吸取的硅片进行拍照。

10.如权利要求9所述的一种视觉补偿硅片置入载板机构，其特征在于，所述的吸盘组件的吸盘还安装有一反光板，所述的反光板用于所述的硅片定位相机的拍照背景。