[实用新型]一种高位加料装置有效
申请号: | 201921229063.9 | 申请日: | 2019-08-01 |
公开(公告)号: | CN210092030U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 鲁济伟 | 申请(专利权)人: | 吉林瑞能半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/311 | 分类号: | H01L21/311;H01L21/312 |
代理公司: | 长春新发惠利知识产权代理事务所(普通合伙) 22216 | 代理人: | 高佳佳 |
地址: | 132013 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高位 加料 装置 | ||
本实用新型是一种高位加料装置,结构包括固定架、U型支架、旋转篮、双导杆气缸、链条,所述固定架支撑双导杆气缸,双导杆气缸与U型支架固定连接,旋转篮与U型支架活动连接,本实用新型通过以双导杆气缸为驱动机构,实现加料罐的举升,翻转,卸料,翻转复位的过程,且可以实现中途停止,可以在举升过程同时进行翻转,有效避开了卸料罐的罐体和上盖的阻挡,该装置节省了使用空间,并降低了操作员的劳动强度。
技术领域
本实用新型涉及到半导体加工加料装置领域,特别是一种高位加料装置。
背景技术
半导体加工过程中,光刻工艺是不可缺少的一步,光刻工艺离不开光刻胶,在添加光刻胶时,需要人工举升35公斤左右的金属加料桶,举升高度450mm,并需要翻转倾倒粘稠的光刻胶,金属加料桶重量大,需要操作员站在两级的踏步上举升进行操作,由于光刻胶粘度大,流动性不好,在倾倒光刻胶时需要保持倾倒姿势,劳动强度较大,踏步占用操作空间。
为克服以上问题,采用机械取代人工的方式进行加料,通过气缸的伸缩实现加料桶的举升、翻转、卸料与复位。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种高位加料装置,可以实现高位加料机械化,节省人力,减少占地空间。
为达到以上目的,提供以下技术方案:
一种高位加料装置,其特征在于,结构包括固定架、U型支架、旋转篮、双导杆气缸、链条,所述旋转篮、U型支架、双导杆气缸、固定架自上而下依次连接,所述链条一端与旋转篮铰接,另一端与固定架固定连接,所述固定架结构包括固定架本体与可调节脚杯,所述固定架本体为方管柱固定连接组成的长方体架体,所述固定架本体的内部沿对角方向固定连接有一块长方形的固定板,所述固定架本体的底部四角分别固定连接有一个可调节脚杯,所述双导杆气缸位于固定架本体的内部并竖直固定连接到固定板的一侧面,所述U型支架为U 型结构,且其顶部两侧分别设有一处半圆形缺口,所述U型支架的底部与双导杆气缸的顶部固定连接,所述旋转篮为方管柱固定连接组成的阶梯型结构,且其一侧设有开口,所述旋转篮的中部两侧各设有一处旋转轴,所述旋转轴活动安装在U型支架的半圆形缺口处,进而实现旋转篮与U型支架的活动连接。
优选地,所述两处旋转轴与两处半圆形缺口的轴线均在同一直线上。
优选地,所述旋转篮的底部还设有限位轴,旋转篮呈竖直状态时,限位轴抵接在U型支架的下部。
优选地,所述旋转篮的上部还设有连接轴,连接轴与链条的一端铰接,进而实现链条与旋转篮铰接。
优选地,所述链条具有一定长度,旋转篮升到一定高度时,链条呈伸直状态,从而对旋转篮的上升高度起到限定作用。
本实用新型的有益效果为:
1.本实用新型通过双导杆气缸驱动来实现高位加料的全过程,节省了人工,减少了劳动强度
2.本实用新型占地面积小,不需要踏步,节省了有限空间。
3.本实用新型加料时,旋转篮的角度可控,方便调节加料的速度与角度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型中旋转篮的结构示意图;
图3为本实用新型中U型支架的结构示意图;
图4为本实用新型实施例的示意图;
图5为本实用新型实施例使用过程的示意图;
图中所示附图标记为:1-固定架本体,2-双导杆气缸,3-链条,4-U型支架, 5-旋转篮,6-可调节脚杯,7-限位轴,8-旋转轴,9-连接轴,10-半圆形缺口。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造