[实用新型]玻璃立式磁控溅射镀膜专用工件架

权利要求书

1.玻璃立式磁控溅射镀膜专用工件架，其特征在于包括工件架主体、固定钢丝、支撑杆、限位缺口，所述工件架主体由横杆与纵杆构成，所述横杆与纵杆的数量分别为N个，N≥2，所述横杆与纵杆之间呈90°角固定连接，所述横杆与纵杆的前端面与后端面分别平齐，所述纵杆的上端、下端分别设有固定钢丝与支撑杆，所述支撑杆与纵杆垂直设置，所述支撑杆上设有限位缺口。

2.按照权利要求1所述的玻璃立式磁控溅射镀膜专用工件架，其特征在于所述固定钢丝为Y型结构，Y型结构的上端固定套在纵杆上，Y型结构的下端与纵杆呈一定角度设置。

3.按照权利要求2所述的玻璃立式磁控溅射镀膜专用工件架，其特征在于Y型结构的下端与纵杆所呈角度范围为15°至45°。

4.按照权利要求1所述的玻璃立式磁控溅射镀膜专用工件架，其特征在于所述限位缺口位于支撑杆远离纵杆的一端。

5.按照权利要求4所述的玻璃立式磁控溅射镀膜专用工件架，其特征在于所述限位缺口为三角形结构。