[实用新型]一种硅片传输装置及插片机

权利要求书

1.一种硅片传输装置，其特征在于，包括：传输机构和至少一个吹风机构；其中，

所述传输机构用于传输硅片；

至少一个所述吹风机构包括出风口，所述出风口朝向所述传输机构上的所述硅片设置，所述出风口的形状为条状缝隙。

2.根据权利要求1所述的硅片传输装置，其特征在于，所述出风口的出风方向和所述硅片的传输方向的夹角为α，其中，0°＜α≤90°。

3.根据权利要求1所述的硅片传输装置，其特征在于，所述传输机构上设置有用于承载所述硅片的硅片承载面；

至少一个所述吹风机构有两个，两个所述吹风机构的出风口分别朝向所述硅片承载面的正反面设置。

4.根据权利要求1所述的硅片传输装置，其特征在于，所述传输机构包括：机架、传输带和至少两个辊轮；其中，

至少两个所述辊轮分别可旋转地设置在所述机架上；

所述传输带套接在相邻的两个所述辊轮上。

5.根据权利要求4所述的硅片传输装置，其特征在于，至少一个所述吹风机构还包括：气源件、输气管和至少一个吹气件；其中，

所述气源件通过所述输气管与至少一个所述吹气件连通；

至少一个所述吹气件上设置有所述出风口。

6.根据权利要求5所述的硅片传输装置，其特征在于，至少一个所述吹风机构还包括：支撑件，至少一个所述吹气件通过所述支撑件固定在所述机架上。

7.根据权利要求6所述的硅片传输装置，其特征在于，所述支撑件为管状，所述输气管通过所述支撑件与所述吹气件连通。

8.根据权利要求5所述的硅片传输装置，其特征在于，所述吹气件内设置有加热器件。

9.根据权利要求8所述的硅片传输装置，其特征在于，所述加热器件为电阻加热丝、红外线加热器或微波磁控管中的一种或多种。

10.一种插片机，其特征在于，包括：花篮、水槽以及如权利要求1-9任一项所述的硅片传输装置；其中，

所述硅片传输装置的输入端位于所述水槽内，所述硅片传输装置的输出端朝向所述花篮；

所述硅片传输装置用于将硅片从所述水槽传输到所述花篮里，所述硅片传输装置的至少一个吹风机构用于去除所述硅片上的液体。