[实用新型]一种硅片传输机构

权利要求书

1.一种硅片传输机构，其特征在于，包括放置臂、过渡臂、行走机构和传输带，所述放置臂和所述过渡臂均用于放置硅片；所述行走机构包括行走臂和驱动所述行走臂的多轴模组，所述行走臂包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别位于所述行走臂的两端部；所述过渡臂、所述放置臂和所述传输带依次等距设置，且与所述第一支撑部和所述第二支撑部间的距离相等；当所述第一支撑部插设进所述放置臂内时，所述第二支撑部插设进所述过渡臂内，以将所述放置臂和所述过渡臂上的所述硅片依次传输至所述过渡臂和所述传输带上。

2.如权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于，所述放置臂包括吸附腔和与所述吸附腔连通的气孔，所述气孔均位于所述放置臂的上表面，以吸附所述硅片。

3.如权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于，所述第一支撑部和所述第二支撑部上均连接有若干抽气接头，以吸附所述硅片。

4.如权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于，所述第一支撑部和所述第二支撑部上均设置有传感器。

5.如权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于，所述传输带包括两对称设置的皮带，两所述皮带上对称设置有若干定位部件；所述定位部件包括与所述硅片的边角匹配的导向部，以利用所述定位部件支撑所述硅片。

6.如权利要求5所述的硅片传输机构，其特征在于，所述定位部件上设置有分割筋，所述定位部件位于所述分割筋的两侧形成对称设置的所述导向部。

7.如权利要求6所述的硅片传输机构，其特征在于，所述第二支撑部的游离端设置有挡板，所述挡板的厚度小于或等于相邻两所述硅片放置在所述传输带上的间距。

8.如权利要求7所述的硅片传输机构，其特征在于，所述分割筋的厚度大于或等于所述挡板的厚度。

9.如权利要求1所述的硅片传输机构，其特征在于，所述放置臂连接有移动模组，以便于抽取所述硅片。