[实用新型]一种等离子放电设备

权利要求书

1.一种等离子放电设备，其特征在于：包括设备箱(100)、电极板(200)、真空泵(710)、抽气泵(820)和气体回收装置(900)，所述设备箱(100)的内顶壁和内底壁均螺接有电极板(200)，所述设备箱(100)的内后壁螺接有导轨(300)，所述导轨(300)的导槽与工件安装架(310)滑动连接，所述设备箱(100)的顶壁螺接有控制器(400)，所述设备箱(100)的右壁螺接有电源箱(500)，所述设备箱(100)的顶部贯穿开有注气口(600)，所述注气口(600)的顶端与第一气密阀(610)固定连接，所述第一气密阀(610)的另一端与输气管道(620)固定连接，所述设备箱(100)的顶部贯穿开有真空抽气口(700)，所述真空抽气口(700)的顶端与真空泵(710)的进气口固定连接，所述设备箱(100)的底壁开有排气口(800)，所述排气口(800)的底端与第二气密阀(810)固定连接，所述第二气密阀(810)的另一端与抽气泵(820)的进气口固定连接，所述抽气泵(820)的出气口与气体回收装置(900)的进气口固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种等离子放电设备，其特征在于：所述设备箱(100)的左右内壁均固定设有屏蔽层(110)。

3.根据权利要求1所述的一种等离子放电设备，其特征在于：所述设备箱(100)的前壁铰接有气密门(120)。

4.根据权利要求1所述的一种等离子放电设备，其特征在于：所述导轨(300)的底壁螺接有加固支撑架(301)，所述加固支撑架(301)的另一端螺接设备箱(100)的内后壁。

5.根据权利要求1所述的一种等离子放电设备，其特征在于：所述气体回收装置(900)包括回收装置外壳(910)、氧化金属过滤器(920)和中空纤维膜过滤器(930)，所述回收装置外壳(910)的进气口与氧化金属过滤器(920)的进气口固定连接，所述氧化金属过滤器(920)的出气口与中空纤维膜过滤器(930)固定连接。