[实用新型]一种喷头装置

说明书

本实用新型公开了一种喷头装置，属于原子层沉积技术领域，包括喷头本体，喷头本体在垂直于柔性膜的移动方向的一个侧面上，在所有先导气工作区和缓冲区以及气体隔离面均匀开设有若干平行布置的进气管道，另一个侧面上在开设有若干平行布置的排气管道，且进气管道和排气管道均为盲孔，进气管道的进气口与主气路系统的上游部分相连接，排气管道的出气口与主气路系统的下游部分相连接；喷头本体的工作面均匀开设有若干排气孔，在两个先导气工作区分别开设有一个气体回收槽；每条进气管道与对应的若干排气孔连通，每条排气管道均与对应的气体回收槽连通。本实用新型提供的喷头装置，用于实现原子层沉积，结构简单，设计巧妙，并且能够达到预期的效果。

技术领域

本实用新型属于原子层沉积技术领域，涉及一种喷头，具体涉及一种喷头装置。

背景技术

NCAP为Nano-Encapsulation的缩写形式。NCAP技术(NCAP Technology)是专门针对柔性高分子聚合物膜材料(即“柔性膜”)表面封装应用所开发的多种技术集成的总称。封装则特指针对柔性膜所做的对多种气体(特别是水气及氧气)的高性能阻隔处理。NCAP技术是气相表面处理技术，其实质是气相条件下柔性膜材料的表/界面及内部物理化学反应。

“柔性膜表面处理气体喷射装置”是一个针对多种柔性膜表面气相处理所研发的装置。该“柔性膜(即柔性高分子聚合物膜)表面处理气体喷射装置”在NCAP技术规范中被定义为：“集成空气动力学柔性表面处理喷头”，简称“喷头”。喷头是NCAP封装系统反应物分子传输的末端，同时也负责表/界面物理化学反应发生时全局环境的建立。喷头所喷出的工作/反应气体射流在喷头与柔性膜之间形成NCAP工艺实施区，而NCAP系统所有全局/局部变量的最终实施及控制都在该工艺实施区内部完成。

与此同时，喷头的各功能必须集成在一个符合半导体行业标准的喷头设计及加工上，喷头同时也是可以被批量生产的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种喷头装置。

本实用新型采用如下技术方案来实现的：

一种喷头装置，该喷头装置用在原子层沉积中对柔性膜表面进行气体喷射处理，包括呈长条状的喷头本体，该喷头本体的工作面沿着柔性膜的移动方向依次划分为若干先导气工作区，相邻两个先导气工作区之间为缓冲区，若干先导气工作区以及缓冲区的四周为气体隔离面，且所有先导气工作区以及缓冲区统称为封装工作区；其中，

喷头本体在垂直于柔性膜的移动方向的一个侧面上，在所有先导气工作区和缓冲区以及气体隔离面均匀开设有若干平行布置的进气管道，另一个侧面上在开设有若干平行布置的排气管道，且进气管道和排气管道均为盲孔，进气管道的进气口与主气路系统的上游部分相连接，排气管道的出气口与主气路系统的下游部分相连接；

喷头本体的工作面均匀开设有若干排气孔，在每个先导气工作区均开设有气体回收槽；每条进气管道均与对应的若干排气孔连通，每条排气管道均与对应的气体回收槽连通。

本实用新型进一步的改进在于，每条进气管道均通过进气衔接管道与对应的若干排气孔连通。

本实用新型进一步的改进在于，进气衔接管道的尺寸设计要求为(d₁-d₂)/2H>0.1；其中d₁为进气衔接管道内直径，d₂为排气孔直径，H为进气衔接管道长度。

本实用新型进一步的改进在于，进气管道内直径设计为d₀>10Σ(d₂)，即进气管道内直径d₀大于所在功能区内所有排气孔直径相加总和的10倍。

本实用新型进一步的改进在于，每条排气管道均通过排气衔接管道与对应的气体回收槽连通。