[实用新型]2D及3D量测装置有效
申请号: | 201921204443.7 | 申请日: | 2019-07-29 |
公开(公告)号: | CN210198327U | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 陈志忠;陈春辰 | 申请(专利权)人: | 晟耀光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 林祥翔 |
地址: | 中国台湾桃园市龙潭*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 | ||
1.一种2D及3D量测装置,其特征在于,包括:
一承载部,包括至少一第一滑轨及一第一驱动马达;
一座体部,所述座体部以可滑动的方式设置于所述第一滑轨,该座体部包括至少一第二滑轨;
一连结部,所述连结部以可滑动的方式设置于所述第二滑轨,该连结部包括一第二驱动马达;
一3D光学轮廓仪,设置于该连结部;
一2D显微镜,设置于该连结部;及
一可程序化逻辑控制器,电性链接所述第一驱动马达、所述第二驱动马达、所述3D光学轮廓仪及所述2D显微镜。
2.如权利要求1所述的2D及3D量测装置,其特征在于,所述第一滑轨与所述第二滑轨相互垂直。
3.如权利要求2所述的2D及3D量测装置,其特征在于,所述可程序化逻辑控制器依据一第一控制指令驱动所述第一驱动马达及所述第二驱动马达。
4.如权利要求3所述的2D及3D量测装置,其特征在于,所述可程序化逻辑控制器依据一第二控制指令操控所述2D显微镜及所述3D光学轮廓仪。
5.如权利要求4所述的2D及3D量测装置,其特征在于,所述可程序化逻辑控制器包括一内存,所述内存用以记录所述第一控制指令及所述第二控制指令。
6.如权利要求1所述的2D及3D量测装置,其特征在于,所述承载部还包括一设置平台,所述3D光学轮廓仪与所述2D显微镜位于所述设置平台的上方。
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