[实用新型]一种晶圆扩膜机用固定装置有效
| 申请号： | 201921190964.1 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN211289248U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 黄运军 | 申请（专利权）人： | 上海宏轶电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;F16M11/22;F16F15/04;H01L21/67;H01L33/48 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 赵朋晓 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆扩膜机用 固定 装置 | ||
1.一种晶圆扩膜机用固定装置，包括有底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶端开设有弹簧槽(2)，所述弹簧槽(2)内滑动连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)底端与弹簧槽(2)槽底之间均匀设置有第一弹簧(4)，所述底座(1)顶端设置有U型框(5)，所述支撑板(3)在U型框(5)内侧，所述U型框(5)左右侧壁中部贯穿对称设置有U型杆(6)，所述U型杆(6)一端贯穿U型框(5)侧壁连接有夹板(7)，所述夹板(7)与U型框(5)之间的U型杆(6)上绕接有第二弹簧(8)，所述U型杆(6)另一端外围设置有把手(9)，所述底座(1)后壁外侧固接有嵌套(10)，所述嵌套(10)内腔滑动设置有竖板(11)，所述竖板(11)顶部左右对称设置有散热风机(12)，所述嵌套(10)侧壁螺接贯穿设置有锁紧螺杆(13)，所述锁紧螺杆(13)另一端抵接竖板(11)侧壁，所述底座(1)两侧矮边上设置有螺钉孔(14)，所述竖板(11)底部设置有防脱限位块，所述散热风机(12)底部与竖板(11)底边之间的距离大于嵌套(10)内腔高度。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用固定装置，其特征在于：所述把手(9)上设置有橡胶套管(16)，所述橡胶套管(16)上刻有条形纹路。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用固定装置，其特征在于：所述支撑板(3)底端设置有防滑纹路。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用固定装置，其特征在于：所述夹板(7)夹紧工作面上均匀设置有防滑凸起(15)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆扩膜机用固定装置，其特征在于：所述锁紧螺杆(13)有两组，两组锁紧螺杆(13)对称设置，所述竖板(11)与锁紧螺杆(13)接触一侧设置有阻尼纹路。
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