[实用新型]一种电池片IV、EL双面测试设备有效
申请号: | 201921190131.5 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN210120118U | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
发明(设计)人: | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵;祝志强;龚艳刚 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 李艾 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电池 iv el 双面 测试 设备 | ||
1.一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,包括机台、上料机构、旋转传送机构、测试机构和下料机构,所述旋转传送机构固定于机台上,所述旋转传送机构包括四工位分度盘和载具,所述上料机构、测试机构和下料机构分别沿所述四工位分度盘的旋转方向设置于所述机台上或机台侧边,所述载具沿四工位分度盘四周均匀间隔地向外连接有四个,所述载具在四工位分度盘的驱动下分别与上料机构、测试机构和下料机构对应,所述载具为中间镂空的框架结构,所述测试机构从上下两侧向所述载具方向夹持。
2.如权利要求1所述的一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,所述载具侧边向内延伸连接有若干吸盘,所述四工位分度盘包括DD电机和转盘,所述载具连接于所述转盘四周,所述机台下方设置有气动滑环,真空管道穿过所述DD电机和机台连通所述吸盘和气动滑环。
3.如权利要求2所述的一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,所述载具包括外框和底板,所述外框和底板之间存在空气流道,所述空气流道的抽气口位于所述载具与所述转盘连接的一端,所述真空管道通过所述空气流道连通所述吸盘。
4.如权利要求2所述的一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,所述DD电机中心还设置有驱动杆,所述驱动杆的一端通过限位盘连接所述DD电机的转子,所述驱动杆的另一端连接所述气动滑环,所述限位盘四周设置有供所述真空管道穿过的限位槽。
5.如权利要求1所述的一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,所述上料机构包括设置在机台上的第一直线模组、与第一直线模组相连的上料吸盘以及位于上料吸盘下方的支撑组件,所述第一直线模组为三轴直线模组,所述上料吸盘与所述三轴直线模组之间通过旋转电机相连,所述支撑组件上方还设置有定位相机。
6.如权利要求5所述的一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,所述支撑组件为传送带组件,所述传送带组件远离所述四工位分度盘的一端向下倾斜设置有接料盒。
7.如权利要求1所述的一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,所述测试机构包括正面测试仪、背面测试仪、上探针排、下探针排和探针运动机构,所述正面测试仪和背面测试仪包括测试部和照明部,所述正面测试仪和上探针排位于所述载具上方,所述背面测试仪和下探针排位于所述载具下方,所述上探针排和下探针排均与所述正面测试仪和背面测试仪的测试部电连接,所述上探针排和下探针排均由所述探针运动机构驱动上下相对移动。
8.如权利要求7所述的一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,所述正面测试仪的照明部指向所述载具,所述背面测试仪水平设置,所述背面测试仪的照明部与所述载具之间设置有反射镜。
9.如权利要求7所述的一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,所述探针运动机构包括驱动电机和丝杆,所述上探针排和下探针排分别连接所述丝杆的螺母副,所述上探针排和下探针排分别包括安装框和若干排探针组,所述安装框两侧设置有安装槽,所述探针组两端通过滑块与所述安装槽相连。
10.如权利要求1所述的一种电池片IV、EL双面测试设备,其特征在于,所述下料机构包括第二直线模组以及与所述第二直线模组相连的下料吸盘,所述第二直线模组为直线滑轨,所述直线滑轨的滑座与所述上料机构的同向直线模组相连,所述下料吸盘与所述滑座固定连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造