[实用新型]高倍远心镜头

说明书

本实用新型公开了高倍远心镜头，包括镜筒，所述镜筒内沿其轴线方向依次设有第一镜片、第二镜片、第三镜片、光阑、第四镜片及第五镜片；第一镜片的相对两侧、第二镜片的相对两侧及第五镜片靠近第四镜片的一侧分别为凸面；第三镜片的相对两侧、第四镜片的相对两侧及第五镜片远离第四镜片的一侧分别为凹面；第二镜片靠近第三镜片的凸面与第三镜片靠近第二镜片的凹面相贴合。通过镜片的数量设计、镜片的凸凹面设计及光路纠正优化，本实用新型的远心镜头能够，实现高倍率(可达6倍)，且能够支持大靶面相机(可支持1.1英寸大靶面相机)。本实用新型的远心镜头配合大靶面相机看细小物体时能达到超高精度以及超高清晰度。

技术领域

本实用新型涉及相机镜头技术领域，尤其涉及高倍远心镜头。

背景技术

半导体晶圆的检测要求极高，这就需要检测设备所用的远心镜头具有较高高光学放大倍率，且能够支持高像素的大靶面相机。

然而，现有的远心镜头并不能满足上述需求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种能够支持大靶面相机的高倍远心镜头。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：高倍远心镜头，包括镜筒，所述镜筒内沿其轴线方向依次设有第一镜片、第二镜片、第三镜片、光阑、第四镜片及第五镜片；第一镜片的相对两侧、第二镜片的相对两侧及第五镜片靠近第四镜片的一侧分别为凸面；第三镜片的相对两侧、第四镜片的相对两侧及第五镜片远离第四镜片的一侧分别为凹面；第二镜片靠近第三镜片的凸面与第三镜片靠近第二镜片的凹面相贴合。

进一步的，第二镜片与第三镜片胶合。

进一步的，第二镜片与第一镜片的间距为8.794mm，光阑与第三镜片的间距为37.466mm，第四镜片与光阑的间距为29.474mm，第五镜片与第四镜片的间距为26.579mm。

进一步的，所述第一镜片相对的两个侧面的曲率相等。

进一步的，所述第二镜片相对的两个侧面的曲率相等。

进一步的，第三镜片靠近第二镜片的侧面的曲率大于第三镜片远离第二镜片的侧面的曲率。

进一步的，第四镜片靠近第三镜片的侧面的曲率小于第四镜片远离第三镜片的侧面的曲率。

进一步的，第五镜片靠近第四镜片的侧面的曲率大于第五镜片远离第四镜片的侧面的曲率。

本实用新型的有益效果在于：通过镜片的数量设计、镜片的凸凹面设计及光路纠正优化，本实用新型的远心镜头能够，实现高倍率(可达6倍)，且能够支持大靶面相机(可支持1.1英寸大靶面相机)。本实用新型的远心镜头配合大靶面相机看细小物体时能达到超高精度以及超高清晰度。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的高倍远心镜头的剖视图。

标号说明：

1、镜筒；

2、第一镜片；

3、第二镜片；

4、第三镜片；

5、光阑；

6、第四镜片；

7、第五镜片；

8、成像面。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。