[实用新型]一种单晶炉及其坩埚托杆有效
| 申请号： | 201921185854.6 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN210194035U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 杨俊;张涛;邓清香;汪沛渊;金浩 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘新雷 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 及其 坩埚 | ||
1.一种坩埚托杆，其特征在于，包括：
用以支撑连接坩埚托盘的上托杆(1)；
可拆卸地与所述上托杆(1)底部连接的下托杆(2)；
其中，所述下托杆(2)由碳/碳复合材料制成。
2.根据权利要求1所述的坩埚托杆，其特征在于，所述上托杆(1)的底部设有内螺纹孔(11)，所述下托杆(2)的顶部设有外螺纹(21)，以供所述上托杆(1)与所述下托杆(2)可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的坩埚托杆，其特征在于，
所述上托杆(1)的高度为650-850mm；
所述下托杆(2)的外露部分的高度为200-300mm。
4.根据权利要求2所述的坩埚托杆，其特征在于，所述下托杆(2)底部的侧表面为锥形面。
5.根据权利要求1所述的坩埚托杆，其特征在于，所述上托杆(1)由等静压石墨材料制成。
6.根据权利要求5所述的坩埚托杆，其特征在于，所述上托杆(1)的顶部具有用以与坩埚托盘相连的连接盘(12)；其中，所述连接盘(12)的顶部设有三个沿周向均匀分布的定位螺孔(121)。
7.根据权利要求2至6任一项所述的坩埚托杆，其特征在于，
所述上托杆(1)内部沿其高度方向贯穿地设有用以供固定螺栓穿过的第一通道(13)；
所述下托杆(2)内部沿其高度从上至下依次设有用以供固定螺栓穿过的第二通道(22)和固定通道(23)；
其中，
所述第一通道(13)与所述第二通道(22)连通，以供固定螺栓依次穿过所述第一通道(13)和所述第二通道(22)；
所述第二通道(22)与所述固定通道(23)连通；
所述固定通道(23)的截面尺寸大于固定螺栓的螺杆的截面尺寸并小于固定螺栓的螺头的截面尺寸；
所述固定通道(23)的长度小于固定螺栓的螺杆的长度。
8.根据权利要求7所述的坩埚托杆，其特征在于，所述第二通道(22)的截面为正六边形。
9.一种单晶炉，包括坩埚托盘和驱动装置，其特征在于，还包括与所述坩埚托盘和所述驱动装置相连、如权利要求1至8任一项所述的坩埚托杆。
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