[实用新型]一种方形金属薄膜支撑结构

说明书

本实用新型公开了一种方形金属薄膜支撑结构，包括薄膜和支撑窗，所述支撑窗上设有用于供电子束穿过的开口，所述薄膜布置于开口上，所述开口内设有均匀间隔设置的支撑单元，所述支撑单元包括纵向设置的若干第一筋条，所述第二筋条横向设置每个支撑单元内的每个第一筋条沿同一方向弯曲设置，使薄膜沿第一筋条弯曲的方向均匀且规则的拉伸变形，保证支撑单元对薄膜的支撑效果和支撑单元的结构强度，提高了支撑窗整体的结构强度，具有更好的稳定性和安全性。

技术领域

本实用新型涉及电子束辐照加工领域，具体涉及一种方形金属薄膜支撑结构。

背景技术

辐照加工时，电子枪射出电子束，并在真空室内扩展形成线性电子束带后，通过贴附在支撑窗开口上的薄膜引出至被辐照物质，有效地杀灭害虫、虫卵、病菌等,支撑窗上的薄膜需要密封安装，以隔绝真空室，市场上的薄膜为减少电子束通过薄膜时的能量损耗，薄膜的厚度通常为几十微米，薄膜的承压能力弱，为减少电子束通过薄膜时的能量损耗，薄膜的厚度通常为几十微米，薄膜的承压能力弱，并且在对真空室进行抽真空和电子束射出时，薄膜会沿着受力方向变形，而在大型的辐照装置需要设置较大开口的支撑窗以及更大功率的真空泵，薄膜容易爆裂，现有技术中的一种支撑窗在开口内设置筋条，但由于开口较大，其内的筋条受到大功率的真空泵的吸力易产生不规则的变形，从而形成不同大小的通口，导致薄膜在不同支撑区域上受到不同且不均匀的支撑力，从而产生不规则的形变而破裂，大气进入后导致电子枪烧毁、真空泵损坏、电源损坏，造成重大经济损失，影响支撑窗的稳定性和工作的安全性。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种方形金属薄膜支撑结构，能够减少薄膜的折痕并为薄膜提供足够的支撑强度，以使在抽真空过程中的薄膜不会发生爆裂。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种方形金属薄膜支撑结构，包括薄膜和支撑窗，所述支撑窗上设有用于供电子束穿过的开口，所述薄膜布置于开口上，所述开口内设有均匀间隔设置的支撑单元，所述支撑单元包括纵向设置的若干第一筋条，所述第二筋条横向设置每个支撑单元内的每个第一筋条沿同一方向弯曲设置。

本实用新型的优点在于：在支撑窗上的开口内均匀且间隔的设置多个支撑单元，对薄膜起到支撑的作用，在抽真空时，薄膜受到压力产生变形，从而抵压在第一筋条上，提高了对薄膜的支撑效果；每个第一筋条沿同一方向弯曲设置，给予第一筋条往弯曲方向变形的趋势，使得受到压力的第一筋条均沿着弯曲的方向产生规则、稳定且极小的变形，从而使薄膜沿第一筋条弯曲的方向均匀且规则的拉伸变形，保证支撑单元对薄膜的支撑效果和支撑单元的结构强度，提高了支撑窗整体的结构强度，具有更好的稳定性和安全性。

进一步，所述弯曲设置指的是，所述第一筋条包括均设有弯曲趋势的第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部与第二支撑部的弯曲趋势相同或相对设置，通过以上改进，当第一支撑部和第二支撑部往相同方向弯曲时，第一筋条在受力时具有更好的承受变形的能力，从而使薄膜获得更加均匀的支撑；当第一支撑部和第二支撑部往相对方向弯曲时，使得第一筋条能够更好的应对热变形，结构更加稳定。

进一步，所述支撑单元还包括第二筋条，所述第二筋条与第一筋条相交设置，通过以上改进，第二筋条为第一筋条提供支撑加强的作用，使得第一筋条在开口处构成具有高强度结构的支撑区域，使得第一筋条受到来自真空泵的压力时不易产生形变。

进一步，所述支撑单元内的第二筋条交错设置，通过以上改进，减少了薄膜在同一位置上的折痕数量，避免了第一筋条两侧的第二筋条并排设置时，薄膜在同一位置上产生的十字状折痕，大大降低了因折痕二导致薄膜出现漏洞的概率。

进一步，所述第二筋条低于第一筋条的端面设置。通过以上改进，在抽真空时，薄膜首先贴附到第一筋条的端面上，由于第二筋条的端面在第一筋条的端面以下且第一筋条均沿着同一方向弯曲，保证第一筋条的结构强度的同时，更进一步的减少了薄膜在支撑区域上的折痕，使得薄膜能够沿着第一筋条的弯曲方向更加均匀的变形，对薄膜具有更好的支撑效果。