[实用新型]一种PBN-PG陶瓷加热器

说明书

本实用新型涉及一种PBN‑PG陶瓷加热器，属于特种设备加热领域，包括圆盘状的加热体，加热体中心开设有热电偶孔，加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路，相邻的发热纹路的间距不等，加热体两侧设有长方形的固定把手，固定把手中心开设有电极孔。本实用新型通过对加热器纹路进行优化设计，将发热纹路之间的间距设计为由内到外依次递减，实现外圈纹路单位长度发热量大于内圈，对外圈进行发热量补偿，大大提高了加热器温度均匀性，加热器表面温度均匀性在1200℃下可达到误差仅为±3℃。

技术领域

本实用新型涉及一种PBN-PG陶瓷加热器，属于特种设备加热领域。

背景技术

随着工业水平的不断进步，市场对加热器的要求也越来越高，不仅要求加热速度快，还对加热的均匀性提出更高的要求。而PBN-PG陶瓷加热器以其高纯度(99.999％)、化学性质稳定(耐酸碱腐蚀)、发热均匀(面加热)、可设计成复杂形状、抗热震性等特点，正逐步应用到OLED、CIGS点源蒸镀加热、MBE加热、MOCVD、PECVD加热领域。

目前市场上的PBN-PG陶瓷加热器，以PBN(热解氮化硼)材料为基体，涂PG(热解石墨)涂层，通过加工形成导电发热层，再涂PBN保护层制得。

发明人在长期加热器设计时发现，无论是钽丝和钼丝加热器还是PBN-PG陶瓷加热器，在保证加热器发热均匀的情况下，加热器呈现内高外低的温度分布，温区分布并不完美，其原因为内圈发热体周边还是发热体，而外圈周边是冷态环境，致使外圈热损失大于内圈，从而呈现内高外低的温度分布。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种PBN-PG陶瓷加热器。

本实用新型的技术方案如下：

一种PBN-PG陶瓷加热器，包括圆盘状的加热体，加热体中心开设有热电偶孔，加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路，相邻的发热纹路的间距不等，加热体两侧设有长方形的固定把手，固定把手中心开设有电极孔。

优选的，所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减。

优选的，所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减值为2％-20％。

优选的，所述相邻的发热纹路之间的间距为5-10mm。

优选的，所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减值为0.5mm。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过对加热器纹路进行优化设计，将发热纹路之间的间距设计为由内到外依次递减，实现外圈纹路单位长度发热量大于内圈，对外圈进行发热量补偿，大大提高了加热器温度均匀性，加热器表面温度均匀性在1200℃下可达到误差仅为±3℃。

附图说明

图1是常见的等宽发热纹路的PBN-PG陶瓷加热器示意图；

其中，相邻的发热纹路的间距均为7.5mm；

图2是本申请优化的内宽外窄发热纹路的PBN-PG陶瓷加热器示意图；

其中，相邻的发热纹路的间距由内到外逐级递减0.5mm，分别为8.5mm、8mm、7.5mm、7mm、6.5mm。

具体实施方式

下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。

如图1-2所示。

实施例1：