[实用新型]一种洁净厂房

说明书

本实用新型涉及平板显示器生产制造技术领域，公开了一种洁净厂房，其中，洁净室内设有物料存储与传输区以及位于物料存储与传输区两侧的工艺生产区，物料存储与传输区内设有物料存储架组，物料存储架组的两侧分别设有隔墙板，每个隔墙板的顶部延伸至上技术夹层的顶部，且底部与华夫板连接；至少一个隔墙板延伸至上技术夹层的部分设有多个通风孔；物料存储架组包括两排物料存储架，每排物料存储架与相邻的隔墙板之间的间隙形成回风夹道，且回风夹道分别与下技术夹层以及上技术夹层连通；每排物料存储架的侧壁上设有多个风机过滤器机组用以吸入回风夹道内的气流并送入相应的物料存储架内部。

技术领域

本实用新型涉及平板显示器生产制造技术领域，尤其涉及一种洁净厂房。

背景技术

当前，电子工业的主流产品为半导体芯片和平板显示器件，由于其生产过程的精密加工要求，其生产环境需要严格的洁净度等级，因此，半导体芯片以及平板显示器件的加工生产需要在洁净室中进行，洁净室内的洁净度等级通过设置在吊顶上的风机过滤器机组向室内送入洁净空气，并将室内的悬浮粒子从回风口排出来维持。传统的洁净厂房如图1所示，包括厂房本体1，厂房本体1内设有上技术夹层5、下技术夹层6以及位于上技术夹层5和下技术夹层6之间的洁净生产层，洁净生产层内设有架空设置的华夫板3以及设置在华夫板3上的洁净室2，洁净室2包括位于华夫板3上的高架地板201、吊顶202以及与高架地板201以及吊顶202配合的墙板，洁净室2两侧设有用于连通下技术夹层5与上技术夹层6的技术夹道7，且下技术夹层6与每个技术夹道7之间设有用于冷却循环空气的干冷却盘管9。

洁净室2内需要保证空气洁净度的空间有三部分，分别为物料存储区211、物料传输区212以及工艺生产区22，其中，物料存储区211设有物料存储架10，用于存储待加工的玻璃基板、芯片等物料，物料传输区212内设有自动搬运装置；工艺生产区22通常布置工艺生产设备，也是操作人员的活动区域。由于物料存储区211以及物料传输区212内待加工的玻璃基板、芯片等与环境空气直接接触，所以该空间内空气洁净度等级通常远远严于工艺生产区22内的空气洁净度等级。

工艺生产区22的吊顶202上布置有多个风机过滤器机组8，并且，为了保证物料存储与传输区21较严格的洁净度等级，通常在物料传输区212的吊顶202上满布风机过滤器机组8，并在物料存储架10的侧面高密度布置风机过滤器机组8。整个洁净室净化空调系统的空气流通路径如图1中的箭头所示，其中，由于物料存储架10侧面安装的风机过滤器机组8吸入的是工艺生产区22内的空气，致使工艺生产区22的吊顶202上需要额外布置与物料存储架10侧面安装的风机过滤器机组相同风量的风机过滤器机组，导致工艺生产区22的吊顶202上需要安装的风机过滤器机组8的数量大大增加，同样，能耗也相应增加。

另外，物料存储区211与物料传输区212的洁净度等级要求很严，需要保证洁净度等级的送风量很大，但该区域内的设备发热量又很小，所以流经该区域的空气流只有极少部分需要冷却处理，但按照图1所示的传统的洁净室2营造方式，安装在物料传输区212顶部的风机过滤器机组8以及安装在物料存储架10侧壁上的风机过滤器机组8吸入的气流都为经过干冷却盘管9处理后的气流，同时，从工艺生产区22以及物料传输区212流出的气流进入下技术夹层6后，全部经过了干冷却盘管9处理，致使干冷却盘管9的数量额外增加很多，导致很多工程出现在规定的空间内布置不下干冷却盘管9的情况；再者，从工艺生产区22以及物料传输区212送出的气流全部经过技术夹道7以及上技术夹层5，致使技术夹道7以及上技术夹层5所需要的空间增大，增加了建设成本。

实用新型内容

本实用新型提供一种洁净厂房，通过对洁净室净化空调系统的空气循环路径进行优化，减少了工艺生产区的送风量以及干冷却盘管和风机过滤器机组的数量，压缩了技术夹道以及上技术夹层所占用的空间，降低了能耗以及建设成本。