[实用新型]液体储存装置以及具备它的液体分配装置

权利要求书

1.一种液体储存装置，其设置于分配头部单元，其中，所述液体储存装置包括：

液体存储部，其暂存液体，将所述液体供给至包括至少一个喷嘴的喷嘴部；及，

过滤器组件，其结合于所述液体存储部，所述过滤器组件内部具备过滤器，将被过滤的所述液体传送至所述液体存储部，所述过滤器的上部形成有上部腔体。

2.根据权利要求1所述的液体储存装置，其中，

所述过滤器组件包括：

液体供给孔，其设置于所述上部腔体的上侧，从外部接收所述液体；及

液体流出孔，使通过所述过滤器的所述液体流出至所述液体存储部。

3.根据权利要求1所述的液体储存装置，其中，

所述过滤器组件形成有用于确认所述上部腔体内的所述液体的水位的通道。

4.根据权利要求3所述的液体储存装置，其中，

所述通道包括形成在所述上部腔体的两侧的第一通道与第二通道。

5.根据权利要求4所述的液体储存装置，其中，

所述第一通道与所述第二通道分别具有透明材质的观察窗。

6.根据权利要求2所述的液体储存装置，其中，

所述过滤器组件包括形成有所述液体供应孔的第一块及形成有所述液体流出孔的第二块，所述第一块与所述第二块之间设置有所述过滤器。

7.根据权利要求6所述的液体储存装置，其中，

所述第一块与所述第二块的侧面设置有块体结合板，所述块体结合板的两端结合于所述第一块与所述第二块。

8.根据权利要求6所述的液体储存装置，其中，

所述第二块包括形成于所述过滤器的下部的下部腔体，所述液体流出孔形成于所述下部腔体的下部。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的液体储存装置，其中，

所述喷嘴部结合于所述液体存储部的一侧。

10.根据权利要求1至8中的任一项所述的液体储存装置，其中，

所述液体储存装置进一步包括水位传感器，用于感测所述上部腔体内的所述液体的水位。

11.一种液体分配装置，其包括：装载台，用于装载基板；头部支撑台，设置于所述装载台的上部；及，分配头部单元，其设置于所述头部支撑台，用于分配预定液体，其中，

所述分配头部单元包括：

权利要求1至9中任一项所述的液体储存装置,所述液体储存装置包括水位传感器，所述水位传感器用于感测所述过滤器组件的所述上部腔体内的所述液体的水位；及，

控制部，当所述水位传感器感测到所述上部腔体的水位为预定值以上时，则所述控制部通知所述过滤器组件的所述过滤器的更换信号。