[实用新型]一种复合硬质薄膜有效
| 申请号： | 201921157566.X | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN210560711U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 陈君;乐务时 | 申请（专利权）人： | 苏州涂冠镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 叶栋 |
| 地址： | 215126 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 硬质 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合硬质薄膜，其特征在于：
Ti层；
TiN层，设于所述Ti层之上；
耐磨层，设于所述TiN层之上，其中所述耐磨层包括周期性设置的复合结构，其中该复合结构包括至少一组依次层叠的CrTiZrN/CrZrC层与CrTiC/CrSiWN层，其中所述CrTiZrN/CrZrC层包括至少一组依次层叠的CrTiZrN层和CrZrC层，所述CrTiC/CrSiWN层包括至少一组依次层叠的CrTiC层和CrSiWN层。
2.根据权利要求1所述的复合硬质薄膜，其特征在于，所述Ti的厚度为200～600nm，所述TiN层厚度为100～300nm。
3.根据权利要求1所述的复合硬质薄膜，其特征在于，所述复合结构中，所述CrTiZrN/CrZrC层的厚度为30～50nm，所述CrTiC/CrSiWN层的厚度为20～30nm，其周期数为100～250。
4.根据权利要求1所述的复合硬质薄膜，其特征在于，所述CrTiZrN/CrZrC层为超晶格结构，所述CrTiZrN层厚度为10～15nm，所述CrZrC厚度为5～10nm，其周期数为2～5。
5.根据权利要求1所述的复合硬质薄膜，其特征在于，所述CrTiC/CrSiWN层为超晶格结构，所述CrTiC层厚度为5～15nm，所述CrSiWN层厚度为5～10nm，周期数为2～5。
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