[实用新型]一种晶体定向仪

说明书

本实用新型公开了一种晶体定向仪，包括机台，机台上设置有工作台，工作台上设置有旋转放置台，旋转放置台包括旋转盘，旋转盘可以在工作台上转动，旋转盘顶部对称设置有支撑柱一和支撑柱二，支撑柱一顶端设置有微型伺服电机，微型伺服电机输出端设置有直齿轮一，支撑柱一靠近支撑柱二的一面设置有夹持盘一，夹持盘一可在支撑柱一上转动，夹持盘一背面固定有直齿轮二，直齿轮一与直齿轮二相啮合，支撑柱二上靠近支撑柱一的一侧设置有夹持盘二，夹持盘二与支撑柱二之间设置有连接轴，连接轴上套有弹簧，连接轴穿过支撑柱二远离夹持盘二的一端设置有限位板，本实用新型结构合理，能将晶体变换角度进行测量，提高测量精度。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种晶体定向仪。

背景技术

在晶体打磨完成晶片后需要对晶片进行定向，大多数晶体定向仪通过X射线衍射原理对晶体光轴的角度进行确定，当晶片放置在样品台时，只能对同一角度的光轴进行检测，改变角度检测需要将晶体拿起变换角度再放置到样品台上，放置后还需要对镜片进行调整，造成了调整时间长，检测效率低，如果只检测一个角度的光轴，在对光轴进行高精度检测时，也容易发生检测精度低的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶体定向仪，通过夹持部位的转动，使仪器能够对晶体其他的角度的光轴进行检测。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种晶体定向仪，包括机台，所述机台上设置有工作台，所述工作台上设置有旋转放置台，所述旋转放置台包括旋转盘，所述旋转盘可以在工作台上转动，所述旋转盘顶部对称设置有支撑柱一和支撑柱二，所述支撑柱一顶端设置有微型伺服电机，所述微型伺服电机输出端设置有直齿轮一，所述支撑柱一靠近支撑柱二的一面设置有夹持盘一，所述夹持盘一可在支撑柱一上转动，所述夹持盘一背面固定有直齿轮二，所述直齿轮一与直齿轮二相啮合，所述支撑柱二上靠近支撑柱一的一侧设置有夹持盘二，所述夹持盘二与支撑柱二之间设置有连接轴，所述连接轴上套有弹簧，所述连接轴穿过支撑柱二远离夹持盘二的一端设置有限位板，所述旋转放置台侧面活动套有标尺，所述标尺上固定有支架，所述支架上设置有可拆卸的反射光接收器，所述工作台上设置有光源发生器。

采用上述技术方案，将晶体放置到夹持盘一和夹持盘二之间，夹持盘二背面的连接轴上的弹簧将夹持盘二相夹持盘一的方向推动，限位板将转动轴限位，防止套在转动轴上的弹簧脱落，放置转动轴在支撑柱上从而固定住晶体，微型伺服电机通过直齿轮一和直齿轮二带动夹持盘一和夹持盘二之间的晶体转动，使光源发射器和反射光接收器对晶体纵向测量，而标尺可以带动支架以旋转放置台为中心转动，使支架上的反射光接收器在不同角度接收光源，从而提高检测精度。

作为优选，所述工作台内设置有转动轴，所述转动轴顶部穿过工作台与旋转盘固定连接，所述转动轴底部设置有斜齿轮一，所述工作台内设置有步进电机，所述步进电机输出端设置有斜齿轮二，所述斜齿轮一与斜齿轮二相啮合

采用上述技术方案，步进电机通过斜齿轮一和斜齿轮二带动转动轴转动，转动轴带旋转盘转动，对旋转盘进行微调，提高测量精度。

作为优选，所述工作台侧面设置有显示器和控制器，所述机台内设置有主机，所述主机与显示器、控制器、微型伺服电机和步进电机电性连接。

采用上述技术方案，主机可以通过信号控制微型伺服电机和步进电机进行转动，控制器将需要移动的数值输入到主机中，主机将数值转化成信号传输给微型伺服电机和步进电机，显示器将其中所有的数值图像化，便于技术人员控制。

作为优选，所述光源发生器和反射光收器电与控制器电性连接。

采用上述技术方案，光源发生器和反射光接收器有控制器进行控制，在通过控制器将测量的数值传输给主机进行分析，最终成像到显示器。

作为优选，所述微型伺服电机和步进电机的输出端连接有传感器，所述传感器与主机电性连接。