[实用新型]一种调整结构

说明书

本实用新型公开了一种调整结构，包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接；本实用新型提供了一种结构简单，使炉门能快速调节到具有良好密封效果的调整结构。

技术领域

本实用新型涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体或光伏材料加工设备的调整结构。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。

目前相应设备的炉门密封是靠密封板与炉框相接触的方式进行密封，且密封板为卡扣式，即密封板通过卡扣固定在炉门上，在炉门密封不严时，操作人员通过敲打卡扣的方式使密封板前进进行密封，但是，经过长时间使用，密封板与炉框相接触的位置磨损严重，再通过密封板对炉门与炉框进行密封的时候，就会出现密封不严的情况，从而导致炉门冒烟，影响环境卫生，同时还会对企业经济效益和社会效益造成严重的影响。

发明内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单，使炉门能快速调节到具有良好密封效果的调整结构。

本实用新型的技术方案如下：

一种调整结构，包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接。

进一步的，调整装置本体的轴向与旋钮件的轴向是非平行关系。

进一步的，调整装置本体的轴向与旋钮件的轴向为垂直关系。

进一步的，炉门中心设置连接部与调整装置本体连接，连接部上设置与旋钮件匹配的通孔。

进一步的，连接部整体呈圆柱形，连接部远离炉门的一端设置导角。

进一步的，调整装置本体靠近炉门中心的一端设置连接孔，连接孔越靠近炉门，连接孔的内径越大；或者连接孔越远离炉门，连接孔的内径越大。

进一步的，调整装置本体整体采用长方体，调整装置远离炉门中心的一端设置控制调整装置本体转动的旋件。

进一步的，旋件周围设置固定件，固定件采用螺栓固定。

进一步的，旋件远离调整装置本体的一端设置调整件，另一端固定在调整装置本体上；调整件套接在旋件上，固定旋件。

进一步的，调整件与旋件之间的接触面采用凹凸面来固定旋件。

本实用新型的优点在于：

本方案结构简单、调整方便，容易推广使用，通过调整装置本体的调节调整炉门为一个维度，旋钮件的辅助调整炉门为另一个维度，从而实现炉门的调整，以配合炉体达到真空密封效果。两者维度为垂直关系时，更能实现高效、便捷的进行炉门的调整，达到炉门与炉体结合的良好密封效果。旋钮件不仅可以当作调整炉门一个维度的结构，亦可实现炉门与调整装置本体的连接。