[实用新型]一种新型单晶炉组件

说明书

本实用新型公开了单晶硅生产装置技术领域的一种新型单晶炉组件，包括外壳、顶板、内炉、主框、副框、底座和底架，所述外壳的顶部接触所述顶板，所述外壳的内部接触所述内炉，所述外壳的内腔左右侧壁通过螺栓固定连接有所述主框和副框，该种新型单晶炉组件，利用整体外壳内置的方式，使底座和底架对内炉进行支撑，内炉被主框和副框的接触板固定后，保持稳定，通过旋转带有空腔的转盘带动顶板下移对槽口进行密封，使夹头对籽晶进行夹取的同时，保证内炉的整体内置，在同等温度下有效提高内炉的温度，内部环境保温性好，节能环保，也有效降低内炉与外部的接触面积，使外部氧含量的干扰情况降低，单晶硅形成环境趋于稳定，以达到提升品质目的。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产装置技术领域，具体为一种新型单晶炉组件。

背景技术

单晶硅是沿着垂直方向从硅熔体中拉制出的具有一定尺寸、晶向、导电型号和电阻率范围的硅单晶。

在单晶硅的制作过程中会使用到单晶炉，单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

而现有的单晶炉在使用过程中，单晶炉是整体外置的，这对于需要持续保持高温的设备来说，是存在热量损耗的，故需要持续性的进行温度保持，这就变相的增加了能源的消耗，且外置的单晶炉会与外部空气接触，含有氧气的空气从顶端进入到单晶炉中时，会对籽晶到晶体的形成过程造成干扰影响，业内为保证品质，主要通过降低氧含量来控制生产，如通过单晶炉中的加热器硬件结构中的发热区域，改变降低氧含量，可受产能及设备匹配性限制，氧含量降低效果差，难以达到提升品质的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型单晶炉组件，以解决上述背景技术中提出的现有的单晶炉在使用过程中，单晶炉是整体外置的，这对于需要持续保持高温的设备来说，是存在热量损耗的，故需要持续性的进行温度保持，这就变相的增加了能源的消耗，且外置的单晶炉会与外部空气接触，含有氧气的空气从顶端进入到单晶炉中时，会对籽晶到晶体的形成过程造成干扰影响，业内为保证品质，主要通过降低氧含量来控制生产，如通过单晶炉中的加热器硬件结构中的发热区域，改变降低氧含量，可受产能及设备匹配性限制，氧含量降低效果差，难以达到提升品质的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型单晶炉组件，包括外壳、顶板、内炉、主框、副框、底座和底架，所述外壳的顶部接触所述顶板，所述外壳的内部接触所述内炉，所述外壳的内腔左右侧壁通过螺栓固定连接有所述主框和副框，所述内炉的底部通过螺栓固定连接所述底座，所述底座的底部通过螺丝固定连接所述底架，所述顶板的顶部通过螺栓固定连接有转盘，所述转盘的内部一体成型连接有空腔，所述空腔的内部插接有拉杆，所述拉杆的底部一体成型连接有夹头，所述内炉的右侧壁一体成型连接有观察腔孔，所述内炉的底部填充有泡沫砖，所述泡沫砖的顶部填充有石墨粉板，所述石墨粉板的内部预留有内槽，所述内槽的内腔底部放置有坩埚，所述坩埚的内腔浇筑有熔体，所述熔体的内部接触有晶体，所述晶体的顶部一体成型连接有籽晶，所述主框的内腔右侧壁焊接有主复位弹簧，所述主复位弹簧的左侧壁焊接有垫板，所述垫板的左侧壁焊接有轴杆，所述轴杆的左侧壁通过螺栓固定连接有接触板，所述底座的底部通过螺栓固定连接有底轴，所述底轴的圆周外壁套接有副复位弹簧，所述副复位弹簧的顶部与所述底座的底部焊接，所述副复位弹簧的底部与所述外壳的内腔底部焊接，所述底座的底部通过螺栓固定连接有两个所述底架，两个所述底架的底部通过螺栓固定连接有连接杆，所述连接杆的底部通过螺栓固定连接有安装座。

优选的，所述外壳的前侧壁通过合页固定连接有主翻盖、副翻盖和底盖，所述外壳的前侧壁镶嵌有观察窗。

优选的，所述主框的外部粘接有内垫板，所述副框的整体结构和所述主框的整体结构相同。

优选的，所述接触板的左侧壁通过螺丝固定连接有接板，所述接板的内侧形状为圆弧形。