[实用新型]一种阴极电弧及溅射沉积源

权利要求书

1.一种阴极电弧及溅射沉积源，其特征在于：包括法兰盘、牙套、靶材、屏蔽组件、绝缘隔板、引弧装置、冷却板和磁场可调的磁力装置，所述的牙套固设在所述法兰盘顶部中心处，所述靶材固定安装所述牙套内，所述的屏蔽组件固设在所述靶材外侧，所述的绝缘隔板固设在所述屏蔽组件的外侧，所述的引弧装置包括引弧发生器、放电针以及用于连接电弧发生器和放电针的活动栓，所述的引弧发生器固定在法兰盘上，所述的放电针设在所述靶材的上方，所述的冷却板固设在所述法兰盘的底部，所述冷却板的内部设有循环冷却水路，所述冷却板的底部设有分别与所述循环冷却水路相连通的进水口和出水口，所述的磁力装置固定安装在所述冷却板底部。

2.如权利要求1所述的一种阴极电弧及溅射沉积源，其特征在于：所述的磁力装置包括铁芯和环形磁铁，所述冷却板的底部开设有一螺纹盲孔，所述铁芯的外表面上开设有外螺纹，所述铁芯的上端固定在所述螺纹盲孔内，所述环形磁铁的内侧设有与所述外螺纹相适配的内螺纹，所述的环形磁铁与所述铁芯螺纹连接并可沿着所述铁芯上下活动。

3.如权利要求1所述的一种阴极电弧及溅射沉积源，其特征在于：所述的磁力装置为电磁铁，所述的电磁铁外接电源。

4.如权利要求2或3所述的一种阴极电弧及溅射沉积源，其特征在于：所述的屏蔽组件包括上屏蔽板、屏蔽套、下屏蔽板和屏蔽垫，所述的屏蔽垫套设在所述牙套的外侧，所述的屏蔽套设在所述屏蔽垫上方并套设在所述靶材外侧，所述的下屏蔽板设在所述屏蔽垫和屏蔽套之间，所述的上屏蔽板固设在所述屏蔽套顶部。

5.如权利要求4所述的一种阴极电弧及溅射沉积源，其特征在于：所述下屏蔽板的下表面与法兰盘的上表面之间具有间隙，所述的下屏蔽板与法兰盘之间通过若干陶瓷座连接。

6.如权利要求4所述的一种阴极电弧及溅射沉积源，其特征在于：还包括阳极辅助装置，所述的阳极辅助装置包括辅助阳极、套设在辅助阳极外侧的阳极套、设在阳极套下方的阳极盖、与辅助阳极相连接的接线头以及用于固定辅助阳极的固定螺栓，所述辅助阳极的顶部与所述下屏蔽板接触，所述的接线头通过导线接地。

7.如权利要求1所述的一种阴极电弧及溅射沉积源，其特征在于：所述靶材的下端开设有外螺纹，所述的牙套上开设有相适配的内螺纹，所述的靶材与牙套之间通过螺纹连接。