[实用新型]一种柔性微波传感器

权利要求书

1.一种柔性微波传感器，其特征在于，包括柔性衬底(1)、以及设于所述柔性衬底(1)上表面的共面波导传输线(2)和互补螺旋谐振器(3)，其中，

所述共面波导传输线(2)包括第一地线(22)、第二地线(23)以及共面波导信号传输线(21)，所述第一地线(22)和第二地线(23)关于所述共面波导信号传输线(21)对称布置，所述共面波导信号传输线(21)与所述第一地线(22)和第二地线(23)之间设有开槽(24)，所述共面波导信号传输线(21)的中部区域刻蚀有所述互补螺旋谐振器(3)；

所述互补螺旋谐振器(3)包括导电带(32)、导电块(33)以及间隙条(31)，所述导电带(32)为回字纹结构，其一端与共面波导信号传输线(21)连接，另一端与所述导电块(33)连接，所述共面波导信号传输线(21)、导电带(32)和导电块(33)之间的间隙共同构成回字纹结构的间隙条(31)，该间隙条(31)用于构成所述互补螺旋谐振器(3)的等效电容，同时，所述导电带(32)和导电块(33)共同构成所述互补螺旋谐振器(3)的等效电感。

2.根据权利要求1所述的柔性微波传感器，其特征在于，所述柔性衬底(1)为PET薄膜，所述柔性衬底(1)的厚度为50um～500um。

3.根据权利要求1所述的柔性微波传感器，其特征在于，所述第一地线(22)、第二地线(23)、共面波导信号传输线(21)、导电带(32)和导电块(33)的厚度相同，均为1um～10um。

4.根据权利要求1所述的柔性微波传感器，其特征在于，所述第一地线(22)、第二地线(23)、共面波导信号传输线(21)、导电带(32)和导电块(33)均采用导电材料制备而成。

5.根据权利要求4所述的柔性微波传感器，其特征在于，所述导电材料为铜。

6.根据权利要求1所述的柔性微波传感器，其特征在于，所述间隙条(31)与导电带(32)的宽度比为1：1～10:1。

7.根据权利要求1所述的柔性微波传感器，其特征在于，所述间隙条(31)与导电带(32)的宽度比为2:1。