[实用新型]制品

权利要求书

1.一种制品，其特征在于，所述制品包括：

主体；

含稀土金属的氟化物涂层，所述含稀土金属的氟化物涂层在所述主体的表面上；以及

缓冲层，所述缓冲层在所述主体的所述表面上，其中所述含稀土金属的氟化物涂层覆盖所述缓冲层。

2.如权利要求1所述的制品，其中所述含稀土金属的氟化物涂层具有约5nm至约10μm的厚度。

3.如权利要求1所述的制品，其中所述制品是处理腔室的部件，所述处理腔室的部件选自由以下项组成的群组：腔室壁、喷头、喷嘴、等离子体产生单元、射频电极、电极壳体、扩散器以及气体管线。