[实用新型]一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉

说明书

本实用新型公开了一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体和探针天线，所述沉积炉本体的边侧安装有向下倾斜分布的进气管，所述探针天线垂直安装在沉积炉本体的顶端，且探针天线的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆，所述沉积炉本体的边侧安装有电动机，且电动机和垂直分布的转轴相连接，所述石英钟罩的内弧面上设置有冷却杆，且冷却杆的中心处固定安装在竖杆底端，并且石英钟罩的底端设置有桨叶，所述探针天线的底端设置有排气口。该设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，通过对现有倒置放置的钟罩内外部结构的添加和改动，实现了钟罩本身的高效散热，同时对吹入沉积炉的反应气体具备聚拢作用，设计更加合理。

技术领域

本实用新型涉及沉积炉技术领域，具体为一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉。

背景技术

沉积炉是现代化加工设备，在工业生产中，尤其是金刚石加工领域，在沉积炉中，石英钟罩是其内部的基础结构，配合同轴探针天线的使用，能够确保装置内部形成的电场较为均匀，但是现有的沉积炉在实际使用时存在着石英钟罩处的结构设计不合理，依靠外部外形的改变所带来的散热效率提升并不明显，依然会有钟罩表面被大面积刻蚀现象的发生的缺点。针对上述问题，急需在原有气相化学沉积炉的基础上进行创新设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，以解决上述背景技术中提出石英钟罩处的结构设计不合理，依靠外部外形的改变所带来的散热效率提升并不明显，依然会有钟罩表面被大面积刻蚀现象的发生的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，包括沉积炉本体和探针天线，所述沉积炉本体的边侧安装有向下倾斜分布的进气管，且沉积炉本体通过连接件和石英钟罩相连接，并且石英钟罩倒扣在沉积炉本体内部的顶端，所述探针天线垂直安装在沉积炉本体的顶端，且探针天线的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆，所述沉积炉本体的边侧安装有电动机，且电动机和垂直分布的转轴相连接，所述石英钟罩的内弧面上设置有冷却杆，且冷却杆的中心处固定安装在竖杆底端，并且石英钟罩的底端设置有桨叶，所述探针天线的底端设置有排气口。

优选的，所述竖杆的外壁与探针天线的内壁为不接触设计，两者之间的空腔与石英钟罩上方沉积炉本体的内部空间相连通，且竖杆和探针天线通过轴承相连接，竖杆和转轴上均安装有设置了皮带的皮带轮。

优选的，所述冷却杆呈弧形结构分布，冷却杆的内部开设有同样为弧形结构的通道，且通道和开设在冷却杆下端面的出气口相连通，并且通道的中段和开设在竖杆内部的内腔相连通，冷却杆的底端中心处设置有竖轴。

优选的，所述竖轴转动安装在石英钟罩中心处，且竖轴的底端与桨叶固定连接。

优选的，所述桨叶为等角度分布，其下方设置有边缘固定在沉积炉本体内壁的聚拢板，且聚拢板的中心凹陷区域为上下贯通开口设计。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，通过对现有倒置放置的钟罩内外部结构的添加和改动，实现了钟罩本身的高效散热，同时对吹入沉积炉的反应气体具备聚拢作用，设计更加合理；

1.竖杆本身的结构设计，便于在电动机的带动下在天线内部同步转动，并且其内部内腔与冷却杆内部可以通入压缩气体，从而使转动着的出气口能够均匀的将压缩气体输送至钟罩表面，确保了散热效率；

2.在竖轴的联动作用下，桨叶会通过同步转动的方式，将吹入的反应气体、在聚拢板的聚拢作用下、更加均匀的吹拂至反应件上，提高了沉积效率。

附图说明

图1为本实用新型正视结构示意图；

图2为本实用新型竖杆正剖面结构示意图；

图3为本实用新型冷却杆仰视结构示意图。