[实用新型]谐振腔式ECR等离子体源装置有效
| 申请号： | 201921134276.3 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN211792198U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;张仲恺;雷久侯;曹金祥 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 谐振腔 ecr 等离子体 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种谐振腔式ECR等离子体源装置，其特征在于，包括：
真空谐振腔，用于使得设定频率的微波产生谐振；
置于所述真空谐振腔内的天线密封罩，所述天线密封罩具有连接外部大气的天线开口；
通过所述天线开口置于所述天线密封罩中的天线，所述天线用于通过所述天线密封罩向所述真空谐振腔辐射所述微波；
置于所述真空谐振腔外部的ECR控制元件，用于在所述真空谐振腔内产生电子回旋共振所需磁场，以在所述真空谐振腔内产生ECR等离子体。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述真空谐振腔包括：圆筒本体，所述圆筒本体的底端密封，其顶端设置有谐振增强环。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述ECR控制元件为磁场线圈，由多匝线圈绕制，用于连接直流稳流电源。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述磁场线圈为漆包线绕制的电磁线圈。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述天线密封罩为石英玻璃罩。
6.根据权利要求1-5任一项所述的装置，其特征在于，所述天线为棒状天线，其一端通过所述天线开口置于所述天线密封罩中，另一端连接微波源产生电路；
所述棒状天线内部具有水冷结构。
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