[实用新型]一种密封组件及碳化硅炉

权利要求书

1.一种密封组件，用于密封双层石英管，所述双层石英管包括外石英管以及套装在所述外石英管内的内石英管，其特征在于，所述密封组件包括：

盖合在所述内石英管的端口上的底层法兰，所述底层法兰具有容纳所述内石英管端口的第一止口；且所述第一止口的侧壁具有第一斜坡面，以在所述底层法兰及所述内石英管的外壁之间形成容纳第一密封圈的空间；其中，所述第一密封圈密封连接所述内石英管的外壁及所述第一斜坡面；

套装在所述内石英管外且将所述第一密封圈压紧在所述第一斜坡面及所述内石英管的外壁之间的中间法兰组件；所述中间法兰组件具有容纳所述外石英管端口的第二止口，所述第二止口的侧壁具有第二斜坡面，以在所述法兰组件及所述外石英管的外壁之间形成容纳第二密封圈的空间；其中，所述第二密封圈密封连接所述外石英管的外壁及所述第二斜坡面；

套装在所述外石英管外且将所述第二密封圈压紧在所述第二斜坡面及所述外石英管的外壁之间的压紧件。

2.如权利要求1所述的密封组件，其特征在于，所述底层法兰上朝向所述中间法兰组件的一面还设置有环绕所述内石英管的环形槽，所述环形槽内设置有第三密封圈，所述中间法兰组件还用于将所述第三密封圈压紧在所述环形槽内。

3.如权利要求1或2所述的密封组件，其特征在于，所述中间法兰组件包括：

套装在所述内石英管外且用于将所述第一密封圈压紧在所述第一斜坡面及所述内石英管的外壁之间的第一法兰；

套装在所述内石英管外且与所述第一法兰密封连接的第二法兰，所述第二止口位于所述第二法兰上背离所述第一法兰的一面。

4.如权利要求3所述的密封组件，其特征在于，所述第一法兰上朝向所述第二法兰一面具有第三斜坡面，以在所述第一法兰及所述内石英管的外壁之间形成容纳第四密封圈的空间，其中，所述第四密封圈密封连接所述内石英管的外壁及所述第三斜坡面。

5.如权利要求3所述的密封组件，其特征在于，所述第一法兰上朝向所述底层法兰的一面具有将所述第一密封圈压紧在所述第一斜坡面及所述内石英管外壁之间的第一凸缘。

6.如权利要求3所述的密封组件，其特征在于，所述第一法兰、所述第二法兰以及所述底层法兰之间通过螺纹连接件固定连接。

7.如权利要求1所述的密封组件，其特征在于，所述压紧件为第三法兰，所述第三法兰上朝向所述中间法兰组件一面具有将所述第二密封圈压紧在所述第二斜坡面及所述外石英管外壁之间的第三凸缘。

8.一种碳化硅炉，其特征在于，包括：

双层石英管，所述双层石英管包括外石英管、以及套装在所述外石英管内的内石英管；

密封所述双层石英管的端口的如权利要求1-6任一项所述的密封组件。

9.如权利要求8所述的碳化硅炉，其特征在于，所述密封组件的个数为两个，所述两个密封组件分别与所述双层石英管的相对的两个端口密封连接。

10.如权利要求8所述的碳化硅炉，其特征在于，所述内石英管的外壁上与所述第一密封圈连接的部分为磨砂面。