[实用新型]一种太阳能电池硅片扩散炉进气装置

说明书

本实用新型公开了一种太阳能电池硅片扩散炉进气装置，包括进气主体和进气管，进气主体的一侧固定安装有进气管，进气管的一侧固定安装有第一过滤板，第一过滤板的内部活动连接有转轴，转轴的一侧固定安装有叶片，叶片的表面嵌入设置有第一过滤孔，第一过滤板的一侧固定安装有第二过滤板，第二过滤板的表面嵌入设置有第二过滤孔，第二过滤板的一侧固定安装有第三过滤板。本实用新型通过风力让叶片进行转动对气体进行搅拌，再通过第一过滤孔让气体经过时气体能够产生阻力，然后进入第二过滤板，通过第二过滤孔对气体进行再次分离再融合后流入第三过滤板，通过齿条让气体经过能够进行多个分离然后再集合到一起，让气体能够分布均匀。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产制造技术领域，尤其涉及一种扩散炉进气装置。

背景技术

在太阳能电池生产制造过程中，气体携带磷源到达硅片表面，经过扩散炉高温扩散得到P-N结结构。目前使用的扩散炉管的石英进气管其内部设置有贯穿进气管的内管，进气管管壁上另连接外管，携磷氮气直接从内管送入用于与进气管连接的扩散炉管再到到达扩散炉，氮气和氧气混合气体从外管进入进气管与内管间的管腔送入扩散炉管到，其间没有进行混合，直接通入扩散炉后容易导致气体分布不均匀，且原有的石英进气管与扩散炉管的接口存在缺陷，扩散炉管直接抵在碗状连接口，与连接口壁间容易滑动，安装时容易出现偏斜，造成磷源在硅片上出现分布不均匀的情况，继而引起方块电阻均匀性变差，电池片转换效率降低。

公开专利号为CN201220362146.7的一种太阳能电池硅片扩散炉进气装置，该装置通过匀流板和匀流孔将气体进行过滤让气体经过能够让氮气和氧气混合气体混合均匀，但该装置结构简单氮气和氧气混合气体仍然有不均匀的现象，因此解决以上问题提供一种太阳能电池硅片扩散炉进气装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术中存在的缺点，而提出的一种太阳能电池硅片扩散炉进气装置，该装置通过进气口将气体传入进气管内，通过风力让叶片进行转动对气体进行搅拌让氮气和氧气混合气体能够搅拌均匀，再通过第一过滤孔让气体经过时气体能够产生阻力，使不同的气体能够混合均匀，然后进入第二过滤板，通过第二过滤孔对气体进行再次分离再融合后流入第三过滤板，通过齿条让气体经过能够进行多个分离然后再集合到一起，使气体均匀的效果更好，最后通过排气管通过多个阻力使气体能够产生旋转的效果，让气体能够分布均匀。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种太阳能电池硅片扩散炉进气装置，包括进气主体和进气管，所述进气主体的一侧固定安装有进气管；

所述进气管包括进气口、第一过滤板、转轴、叶片、第一过滤孔、第二过滤板、第二过滤孔、第三过滤板、连接板、锯齿、进气罩、排气管、尖角、出气口，所述进气管的一侧固定安装有第一过滤板，所述第一过滤板的内部活动连接有转轴，所述转轴的一侧固定安装有叶片，所述叶片的表面嵌入设置有第一过滤孔，所述第一过滤板的一侧固定安装有第二过滤板，所述第二过滤板的表面嵌入设置有第二过滤孔，所述第二过滤板的一侧固定安装有第三过滤板，所述第三过滤板的内部固定安装有连接板，所述连接板的下方固定安装有锯齿，所述锯齿的一侧固定安装有进气罩，所述进气罩的一侧固定安装有排气管，所述排气管的内部固定安装有尖角，所述排气管的上方固定安装有出气口。

作为上述技术方案的进一步描述：所述叶片为PPS塑料材质，且叶片厚度为2cm-3cm。

作为上述技术方案的进一步描述：所述第一过滤孔为三角形状，且第一过滤孔在叶片表面上下对称设置。

作为上述技术方案的进一步描述：所述第二过滤孔为齿轮形状，且第二过滤孔的直径为3cm-5cm。

作为上述技术方案的进一步描述：所述锯齿为三角形状，且锯齿为上下对称设置，而锯齿上下之间的距离为2cm-3cm。

作为上述技术方案的进一步描述：所述排气管为波浪形状，且排气管为PVC塑料材质。