[实用新型]一种电场控制图形化蒸镀装置

权利要求书

1.一种电场控制图形化蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发源、具有图形化电极的基板、电源系统；其中：

所述的蒸发源，包括蒸发源基板(1)、加热电源(19)、和依次设于所述蒸发源基板(1)上的加热层(2)和蒸发料层(3)，所述的加热层为导电发热介质，在所述的加热层(2)上设有第一电极(4)和第二电极(5)，所述的第一电极、第二电极均与所述的加热电源(19)相连形成回路；

所述的具有图形化电极的基板，包括基底(16)、及设于所述基底下表面形成图形化的多个电极组，所述的电源系统包括电源分配器(9)和高压直流电源(7)；所述的具有图形化电极的基板上各组电极组通过所述的电源分配器(9)与所述的高压直流电源(7)的一极相连，所述的高压直流电源的另一极与所述的加热层(2)上的电极相连，所述的电源分配器(9)用于控制其中一组或多组电极组与所述的高压直流电源连通从而在所述的一组或多组电极组与加热层之间形成电场。

2.根据权利要求1所述的电场控制图形化蒸镀装置，其特征在于，所述装置还包括绝缘面板(21)，所述绝缘面板设置于所述的具有图形化电极的基板下方，用于在电极组与加热层之间形成电场时接受从所述蒸发料层逸出的蒸发料，在所述的绝缘面板下表面实现图形化蒸镀。

3.根据权利要求1所述的电场控制图形化蒸镀装置，其特征在于，所述的电极组共三组，分别为R、G、B组电极组(13-15)，分别对应不同颜色的蒸发料。

4.根据权利要求1所述的电场控制图形化蒸镀装置，其特征在于，所述的蒸发源为面蒸发源、带蒸发源或线蒸发源。

5.根据权利要求4所述的电场控制图形化蒸镀装置，其特征在于，所述的蒸发源采用辊筒式面蒸发源，包括两个加热电极辊筒(105、106)、柔性金属箔带(103)、两个辊筒(101、102)，所述的蒸发料层设置在所述的柔性金属箔带(103)上，所述的柔性金属箔带(103)一端绕于一只辊筒上，另一端经两个加热电极辊筒后卷到另一辊筒上，在两只加热电极辊筒之间形成一个平整的蒸发面。

6.根据权利要求1所述的电场控制图形化蒸镀装置，其特征在于，所述装置包括两套或两套以上的电源系统，每套电源系统中高压直流电源均为一端连接电极组，另一端连接蒸发源的加热层，其中第一套电源系统中高压直流电源按蒸镀需要通过相应电源分配器与需蒸镀的电极组连通，其他电源系统中高压直流电源则通过相应电源分配器与其余的电极组连通，且与第一套电源系统中高压直流电源的电压方向相反。

7.根据权利要求1所述的电场控制图形化蒸镀装置，其特征在于，所述的蒸发料层(3)为图形化的，且其图形与所述的具有图形化电极的基板上的图形一致。

8.根据权利要求1所述的电场控制图形化蒸镀装置，其特征在于，所述的图形化电极的表面具有已蒸镀上的有机膜或无机绝缘膜层。