[实用新型]一种VCSEL激光器

权利要求书

1.一种VCSEL激光器，其特征在于，包括：沿垂直方向依次层叠的第一电极、导电基板、键合层、透明导电层、第一欧姆接触层、第一DBR层、第一氧化层、有源层、第二氧化层、第二欧姆接触层和第二DBR层，所述透明导电层位于所述导电基板的中心区域，所述第一欧姆接触层位于所述第一DBR层的中心区域，所述第二DBR层位于所述第二欧姆接触层的中心区域，

还包括绝缘介质层和环形第二电极，所述绝缘介质层设于所述导电基板和所述第一DBR层之间并环绕所述透明导电层和第一欧姆接触层设置，所述环形第二电极设于所述第二欧姆接触层设有第二DBR层的一侧并环绕所述第二DBR层设置，

所述透明导电层和第一欧姆接触层构成第一导电通道，所述第一氧化层具有第二导电通道，所述第二氧化层具有第三导电通道，所述环形第二电极的中空部位构成出光孔，所述出光孔、第三导电通道、第二导电通道和第一导电通道在水平方向的尺寸依次减小。

2.根据权利要求1所述的VCSEL激光器，其特征在于，所述出光孔的中心、第三导电通道的中心、第二导电通道的中心和第一导电通道的中心位于同一直线上。

3.根据权利要求2所述的VCSEL激光器，其特征在于，所述出光孔、第三导电通道、第二导电通道和第一导电通道在水平方向的尺寸呈线性依次减小。

4.根据权利要求2所述的VCSEL激光器，其特征在于，所述出光孔、第三导电通道、第二导电通道和第一导电通道在水平方向的尺寸呈非线性依次减小。

5.根据权利要求1所述的VCSEL激光器，其特征在于，所述透明导电层和所述第一欧姆接触层的厚度之和与所述绝缘介质层的厚度相同。

6.根据权利要求1所述的VCSEL激光器，其特征在于，还包括保护层，所述保护层设于所述第二DBR背离所述第二欧姆接触层的一侧，所述环形第二电极环绕所述保护层设置，所述第二DBR层与所述保护层的厚度之和小于所述环形第二电极的厚度。

7.根据权利要求1所述的VCSEL激光器，其特征在于，还包括金属反射镜，所述金属反射镜分别设于所述键合层与所述透明导电层之间，以及所述键合层与所述绝缘介质层之间，所述透明导电层位于所述金属反射镜的中心区域。

8.根据权利要求1所述的VCSEL激光器，其特征在于，还包括第一限制层和第二限制层，所述第一限制层设于所述第一氧化层与所述有源层之间，所述第二限制层设于所述第二氧化层与所述有源层之间。