[实用新型]抛光设备

权利要求书

1.一种抛光设备，其特征在于，包括：

磨盘组件(20)，包括若干个磨盘(4)；

用于驱动所述磨盘(4)平面运动的磨盘驱动装置，所述磨盘组件(20)连接于所述磨盘驱动装置；

磨盘安装架(6)，所述磨盘组件(20)连接于所述磨盘安装架(6)上；

若干个用于调整所述磨盘(4)的平面度的平衡驱动装置，各所述平衡驱动装置的输出端均连接于所述磨盘安装架(6)；

机架，所述平衡驱动装置的固定端固定于所述机架。

2.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，还包括：

工作台(22)；

用于驱动所述工作台(22)在原点位与工作位之间运动的工作台驱动装置，所述工作台驱动装置的输出端连接于所述工作台(22)，所述工作位设于所述磨盘(4)在高度方向上的正下方，所述原点位与所述工作位在垂直于高度方向上相错开，所述工作台(22)在处于所述原点位时不与所述磨盘(4)接触。

3.根据权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，所述工作台驱动装置为直线驱动装置，且驱动方向垂直于高度方向。

4.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，还包括用于带动所述磨盘组件(20)沿高度方向升降运动的升降驱动装置；所述升降驱动装置的输出端固定于所述磨盘安装架(6)，且所述升降驱动装置的固定端固定连接于所述机架。

5.根据权利要求1所述的抛光设备，其特征在于，还包括用于检测所述磨盘(4)的平面度的检测装置，所述检测装置连接于所述机架。

6.根据权利要求1至5任一项所述的抛光设备，其特征在于，所述磨盘组件(20)还包括设于所述磨盘(4)上侧的第一转盘(7)，各所述磨盘(4)的中心分别固定有中心轴(27)，所述中心轴(27)转动插接于所述第一转盘(7)，所述第一转盘(7)的中心固定有传动轴(21)，所述传动轴(21)通过第一传动件传动连接于所述磨盘驱动装置，且所述传动轴(21)通过第二传动件传动连接所述中心轴(27)。

7.根据权利要求6所述的抛光设备，其特征在于，所述第一传动件包括固定于所述传动轴(21)上的第一齿轮(25)和固定于所述磨盘驱动装置的输出端的第二齿轮(26)，所述第二传动件包括固定于所述传动轴(21)上的第三齿轮(24)和固定于所述中心轴(27)上的第四齿轮(23)。

8.根据权利要求7所述的抛光设备，其特征在于，所述第二齿轮(26)与所述第四齿轮(23)为同一型号的齿轮。

9.根据权利要求6所述的抛光设备，其特征在于，所述磨盘组件(20)还包括设于所述第一转盘(7)上方的第二转盘(19)；所述传动轴(21)固定于所述第二转盘(19)并向上贯穿所述第二转盘(19)，所述第一传动件设于所述第二转盘(19)的上方，所述第二传动件设于所述第二转盘(19)与所述第一转盘(7)之间，所述中心轴(27)向上贯穿所述第一转盘(7)。

10.根据权利要求9所述的抛光设备，其特征在于，所述第一转盘(7)与所述第二转盘(19)为圆盘，且所述第一转盘(7)与所述第二转盘(19)分别转动连接于所述磨盘安装架(6)上对应的圆形轨道(28)中。