[实用新型]空气悬浮离心式真空泵

权利要求书

1.空气悬浮离心式真空泵，包括电机和由所述电机驱动的叶轮泵，其特征在于：

所述叶轮泵包括泵体，所述泵体设置有吸气口和排气口，所述泵体内设置有叶轮；

所述电机包括电机壳，所述电机壳内设置有电机定子和主轴，所述主轴的第一端直连有风扇，所述主轴的第二端直连所述叶轮；

所述主轴的两端轴颈分别安装有空气轴承，所述空气轴承安装于轴承座内。

2.如权利要求1所述的空气悬浮离心式真空泵，其特征在于，所述叶轮的轮毂设置有贯通叶轮的轮背面与轮前面的压力平衡孔。

3.如权利要求1所述的空气悬浮离心式真空泵，其特征在于，所述电机壳内设置有电机壳镶套，所述电机壳镶套套设于所述电机定子外，所述电机壳镶套的外周面设置有沿轴向延伸的冷却通道。

4.如权利要求1所述的空气悬浮离心式真空泵，其特征在于，位于所述主轴第一端的所述轴承座为轴承座A,所述轴承座A位于所述电机壳与所述风扇的风扇罩之间并且与所述电机壳、所述风扇罩固定连接，所述轴承座A与所述风扇罩围出容纳所述风扇的风扇腔室；所述轴承座A设置有连通所述风扇腔室与容纳所述电机的电机腔室的轴承座通道。

5.如权利要求1至4任一项所述的空气悬浮离心式真空泵，其特征在于，位于所述主轴第二端的所述轴承座为轴承座B,所述轴承座B与所述电机壳固定连接，所述轴承座B的一侧安装有所述空气轴承，所述轴承座B的另一侧安装有止推轴承。

6.如权利要求5所述的空气悬浮离心式真空泵，其特征在于，所述止推轴承包括轴圈和座圈，所述轴圈固定安装于所述叶轮的叶轮轴上，所述轴承座B的外端面设置有用于容纳所述轴圈的环形凹槽，所述座圈固定安装于所述轴承座B的外端面。

7.如权利要求6所述的空气悬浮离心式真空泵，其特征在于，所述座圈的外周面设置有密封槽，所述密封槽内设置有密封圈；所述座圈的外端面固定有密封盖板，所述密封盖板与所述叶轮的轮背之间设置有齿形密封结构。

8.如权利要求1所述的空气悬浮离心式真空泵，其特征在于，所述泵体的吸气口处设置有蜗壳镶套。

9.如权利要求1所述的空气悬浮离心式真空泵，其特征在于，所述电机是永磁同步高速电机。