[实用新型]一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构有效

专利信息
申请号: 201921111630.0 申请日: 2019-07-16
公开(公告)号: CN210367897U 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 曾咏嘉;刘俊智 申请(专利权)人: 腾景科技股份有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/50
代理公司: 福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙) 35226 代理人: 李钢
地址: 350015 福建省福州市马尾科技园*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 短波 波长 镀膜 结构
【说明书】:

实用新型公开了一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构,涉及光学加工技术领域,包括设于真空室顶部中央的镀膜机台,镀膜机台的机械转轴上连接有镀膜孔盘,真空室顶部向下竖直安装有三根固定支架,固定支架下方穿过镀膜伞遮片,上下两个螺母孔将镀膜散遮片可拆卸的安装在固定支架上,镀膜孔盘正中间安装有用于监控镀膜过程的监控片。本实用新型通过三个一样的固定支架焊接在真空室顶部,将镀膜伞遮片悬空固定在真空室孔盘外圈正下方,从而遮挡镀膜过程大部分膜料蒸镀;并且镀膜伞遮片的面积可以根据产品进行自由调节,从而控制镀膜孔盘外圈产品镀上去膜的膜厚,通过监控片跟外圈滤光片镀膜的厚度差来实现短波滤光片的镀制。

技术领域

本实用新型涉及光学加工技术领域,特别涉及一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构。

背景技术

现代镀膜直接光控控制方法适用波长范围一般在400nm到1100nm之间。如要镀通带400nm以下的滤光片就没有适合的光控光源,现今400nm以下紫外滤光片就只能用间接控制或者晶控模式去镀膜,这样镀出来精度远远不能满足实际应用。

针对以上现有技术中存在的问题,需要进一步进行改进。

实用新型内容

(1)要解决的技术问题

本实用新型针对现有技术中的上述问题,为弥补现有技术的不足,本实用新型提供一种能够合理制造并适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构。

(2)技术方案

为了实现上述技术目的,本实用新型提供了这样一种适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构,包括设于真空室顶部中央的镀膜机台,所述镀膜机台的机械转轴上连接有镀膜孔盘,真空室顶部向下竖直安装有三根固定支架,三根所述固定支架的规格一致,所述固定支架的长度大于所述镀膜孔盘到所述真空室顶部的高度,所述固定支架上设有外螺纹,所述固定支架下方穿过镀膜伞遮片,所述镀膜伞遮片上设有固定孔,上下两个螺母穿过所述固定孔将所述镀膜伞遮片可拆卸的安装在三个所述固定支架上,所述镀膜伞遮片吊接在所述镀膜孔盘的下方、与所述镀膜孔盘相互平行,所述镀膜孔盘正中间安装有用于监控镀膜过程的监控片。

优选地,所述固定支架是规格为m12的螺杆,所述固定支架的上端焊接在所述真空室顶部。

优选地,所述镀膜伞遮片的横截面形状为半弧形,半弧形所述镀膜伞遮片所在的圆与所述镀膜孔盘为同心圆。

优选地,所述镀膜伞遮片由厚铝板材料制成。

(3)有益效果

本实用新型通过在真空室的镀膜孔盘外圈增加一层镀膜伞遮片,通过固定支架将镀膜伞遮片固定在镀膜孔盘下方,固定支架上设有外螺纹,镀膜伞遮片通过上下两个螺母与固定支架的外螺纹匹配从而对镀膜伞遮片进行定位,也便于镀膜伞遮片的拆卸和自由替换,本实用新型通过控制镀膜伞遮片的面积大小来调节短波滤光片的中心波长位置,并借助现有单色仪所拥有的波长来监控光控片,通过监控片与镀膜伞遮片之间镀膜厚度的差异来实现短波波长滤片等产品的镀制;本实用新型中镀膜伞遮片用厚铝板材料制成,可以减少镀膜伞遮片的变形,镀制成品效果优良,使成品能够满足实际应用。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。其中:

图1为本实用新型适用于短波波长直控镀膜的镀膜结构的结构示意图;

图2为图1的仰视图。

附图标记为:1-镀膜机台,2-固定支架,3-镀膜伞遮片,4-螺母,7-镀膜孔盘,8-监控片,9-真空室。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

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