[实用新型]线域频域光学相干层析检测及纵向坐标标定装置

权利要求书

1.一种线域频域光学相干层析检测及纵向坐标标定装置，其特征在于，包括线域频域光学相干层析装置和纵向坐标标定装置，所述线域频域光学相干层析装置包括钨卤素灯光源模块、迈克尔逊干涉仪模块、线光谱仪模块和计算机，所述钨卤素灯光源模块包括钨卤素灯光源（1）和凸透镜（2），钨卤素灯光源（1）发出的光经凸透镜（2）准直为平行光束，所述迈克尔逊干涉仪模块包括第一柱透镜（3）、分光镜（4）和参考镜（5），第一柱透镜（3）将平行光束聚焦为焦线，分光镜（4）将光束分束为强度相等的两束光线，一束作为参考光汇聚于参考镜（5），另一束作为检测光汇聚于待测样品（8）表面，两束光经反射后重合发生干涉，所述线光谱仪模块包括第二柱透镜（10）、反射镜（11）、反射式光栅（12）、第三柱透镜（13）和面阵相机（14），干涉光束经第二柱透镜（10）汇聚和反射镜（11）反射后入射到反射式光栅（12）上，反射式光栅（12）将入射光按波长在空间分光后由柱透镜汇聚成干涉谱线，由面阵相机采集二维干涉条纹图像信号，所述计算机与面阵相机连接，以接收、存储、处理面阵相机传输来的条纹图像信号；所述纵向坐标标定装置包括可调狭缝结构（9）和用于驱动可调狭缝结构进行位移的狭缝位移平台，所述可调狭缝结构（9）设于分光镜（4）与待测样品（8）之间的检测光路上，狭缝宽度可调。

2.根据权利要求1所述的一种线域频域光学相干层析检测及纵向坐标标定装置，其特征在于，所述狭缝位移平台包括横向线性位移机构（7）和纵向线性位移机构（6），所述可调狭缝结构安装于纵向线性位移机构（6）上，以在其带动下进行纵向位移，所述纵向线性位移机构（6）设置于横向线性位移机构（7）上，以在其带动下进行横向位移。

3.根据权利要求2所述的一种线域频域光学相干层析检测及纵向坐标标定装置，其特征在于，所述横向线性位移机构（7）和纵向线性位移机构（6）均为丝杆螺母副机构，分别由步进电机驱动工作。

4.根据权利要求1所述的一种线域频域光学相干层析检测及纵向坐标标定装置，其特征在于，所述纵向坐标标定装置为可拆结构，装置纵向坐标标定完成后，纵向坐标标定装置的可调狭缝结构和狭缝位移平台可拆除。