[实用新型]带压力传感器的氮化物制备系统有效
| 申请号： | 201921111275.7 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN210367995U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 乔焜;高明哲;林岳明 | 申请（专利权）人： | 上海玺唐半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B7/10 | 分类号： | C30B7/10;C30B29/38;C30B29/40 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 201613 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力传感器 氮化物 制备 系统 | ||
1.一种带压力传感器的氮化物制备系统，其包括热等静压设备(1)和若干反应容器(2)，所述反应容器(2)设置在所述热等静压设备(1)的内腔，所述反应容器(2)用于在一定的温度和压力下制备氮化物，其特征在于，
所述系统还包括第一压力传感器(S1)和第二压力传感器(S2)，
所述第一压力传感器(S1)用于测量所述热等静压设备(1)的内腔的第一压强(P1)，所述第二压力传感器(S2)用于测量所述反应容器(2)的内腔的第二压强(P2)，
所述第一压力传感器(S1)和所述第二压力传感器(S2)均设置在所述热等静压设备(1)的外部，
所述系统还包括第一管路(L1)和第二管路(L2)，
所述第一管路(L1)导通所述热等静压设备(1)的内腔和所述热等静压设备(1)的外部，
所述第二管路(L2)穿过所述热等静压设备(1)的壁并导通所述热等静压设备(1)的外部和所述反应容器(2)的内腔，
所述第一压力传感器(S1)的至少部分伸入到所述第一管路(L1)内，
所述第二压力传感器(S2)的至少部分伸入到所述第二管路(L2)内。
2.根据权利要求1所述的氮化物制备系统，其特征在于，所述反应容器(2)有多个，为每个所述反应容器(2)配置一个所述第二压力传感器(S2)。
3.根据权利要求1所述的氮化物制备系统，其特征在于，所述系统还包括控制器(C)，所述第一压力传感器(S1)和所述第二压力传感器(S2)均连接到所述控制器(C)。
4.根据权利要求3所述的氮化物制备系统，其特征在于，所述第一压力传感器(S1)和所述第二压力传感器(S2)通过导线连接到所述控制器(C)，或
所述第一压力传感器(S1)和所述第二压力传感器(S2)通过无线的方式实现与所述控制器(C)的连接和通信。
5.根据权利要求1所述的氮化物制备系统，其特征在于，所述氮化物制备系统为氮化镓制备系统。
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