[实用新型]一种真空加热炉的结构

权利要求书

1.一种真空加热炉的结构，用于对电子片进行加热，其特征在于，包括炉体及设置在所述炉体内的依次连通的用于对电子片进行真空加热的真空腔室、用于对电子片进行赋磁的磁控腔室和用于对电子片进行冷却的冷却腔室，所述真空腔室与所述磁控腔室之间设置有第一开关机构，所述第一开关机构打开，所述真空腔室内的电子片可穿过所述第一开关机构进入所述磁控腔室内；所述磁控腔室与所述冷却腔室之间设置有第二开关机构，所述第二开关机构打开，所述磁控腔室内的电子片可穿过所述第二开关机构进入所述冷却腔室内。

2.根据权利要求1所述的一种真空加热炉的结构，其特征在于，所述真空腔室内设置有用于对电子片进行真空加热的加热机构。

3.根据权利要求2所述的一种真空加热炉的结构，其特征在于，所述加热机构包括电加热管。

4.根据权利要求1所述的一种真空加热炉的结构，其特征在于，所述磁控腔室内设置有对电子片进行赋磁的赋磁机构，所述赋磁机构用于使电子片增加磁性。

5.根据权利要求4所述的一种真空加热炉的结构，其特征在于，所述赋磁机构包括磁控靶。

6.根据权利要求5所述的一种真空加热炉的结构，其特征在于，两个所述磁控靶分别设置在所述磁控腔室的两端。

7.根据权利要求1所述的一种真空加热炉的结构，其特征在于，所述第一开关机构包括第一安装座及设置在所述第一安装座上的第一气缸、第一出料门和第一进料门，所述第一出料门连接在所述真空腔室的出料口，所述第一进料门连接在所述磁控腔室的进料口，所述第一气缸与第一挡块连接，所述第一挡块处于所述第一出料门和第一进料门之间。

8.根据权利要求1所述的一种真空加热炉的结构，其特征在于，所述第二开关机构包括第二安装座及设置在所述第二安装座上的第二气缸、第二出料门和第二进料门，所述第二出料门连接在所述磁控腔室的出料口，所述第二进料门连接在所述冷却腔室的进料口，所述第二气缸与第二挡块连接，所述第二挡块处于所述第二出料门和第二进料门之间。

9.根据权利要求1所述的一种真空加热炉的结构，其特征在于，所述真空腔室、磁控腔室与冷却腔室内均设置有传输机构，所述传输机构包括传输电机、传输轮和传送带，所述传送带套在所述传输轮上，所述传输电机可带动所述传输轮转动。

10.根据权利要求1所述的一种真空加热炉的结构，其特征在于，所述真空腔室的左侧设置有进料炉门，所述冷却腔室的右侧设置有出料炉门。