[实用新型]一种真空反应室内温度侦测系统有效
| 申请号： | 201921105573.5 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210535628U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 王浩明;陈永萍;张广德 | 申请（专利权）人： | 苏州子山半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;G05B19/042 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 薛芳芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 反应 室内 温度 侦测 系统 | ||
1.一种真空反应室内温度侦测系统，包括传送室压力模块(1)、Back反应室温控器信号(2)、外部逻辑控制器模块(3)、继电器模块(4)、Eurotherm温控器报警模块(5)、输出开关(6)、瓦特龙温控器报警模块(7)和Side反应室温控器信号(8)，其特征在于：所述传送室压力模块(1)的输出端为外部逻辑控制器模块(3)，所述传送室压力模块(1)内部有eurotherm的信号和watlow信号构成，所述Back反应室温控器信号(2)的输出端为外部逻辑控制器模块(3)，所述Side反应室温控器信号(8)的输出端为外部逻辑控制器模块(3)，所述传送室压力模块(1)、Back反应室温控器信号(2)和Side反应室温控器信号(8)的输出端均接入至外部逻辑控制器模块(3)中，所述外部逻辑控制器模块(3)的输出端为继电器模块(4)，所述继电器模块(4)的输出端为输出开关(6)，所述输出开关(6)共设置有两个输出端，所述输出开关(6)的一个输出端为Eurotherm温控器报警模块(5)，所述输出开关(6)的另一个输出端为瓦特龙温控器报警模块(7)。
2.根据权利要求1所述的一种真空反应室内温度侦测系统，其特征在于：所述传送室压力模块(1)、Back反应室温控器信号(2)和Side反应室温控器信号(8)均通过各自连接的线材进行信号输入。
3.根据权利要求1所述的一种真空反应室内温度侦测系统，其特征在于：所述Eurotherm温控器报警模块(5)的输出信号可插接至机台中安全连锁装置中。
4.根据权利要求1所述的一种真空反应室内温度侦测系统，其特征在于：所述瓦特龙温控器报警模块(7)对应的温度监测范围为零至三百摄氏度。
5.根据权利要求1所述的一种真空反应室内温度侦测系统，其特征在于：所述Eurotherm温控器报警模块(5)对应的温度监测范围为大于二百七十五摄氏度。
6.根据权利要求1所述的一种真空反应室内温度侦测系统，其特征在于：所述外部逻辑控制器模块(3)、继电器模块(4)和输出开关(6)均集成外界控制内。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
