[实用新型]一种传送压紧机构

说明书

本实用新型公开了一种传送压紧机构，包括两根箱式滑轨和压紧装置，箱式滑轨相对的一侧开设配合的滑槽，压紧装置包括固定件，设置于箱式滑轨顶面；支撑件，设置于箱式滑轨顶面且位于固定件一侧；上压轮，设置于支撑件长度方向的一侧端部；下压轮，设置于下压轮的下方；气缸，具有活塞杆，设置于箱式滑轨内且位于支撑件远离所述上压轮一端下方；以及驱动电机，设置于箱式滑轨外侧；其中，固定件与支撑件长度方向的一侧中部轴连接；上压轮与支撑件轴连接；活塞杆可伸出箱式滑轨顶部与支撑件接触；驱动电机与所述下压轮连接。本实用新型提供了一种传送压轮，在原有结果基础上改进，使得使用寿命和稳定性大大提高，降低了设备的维护成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产加工技术领域，尤其涉及一种半自动导体加工设备采用了的传送压紧机构。

背景技术

传送压紧机构是半自动半导体加工设备中常用的机构之一，其主要用于压住传送至加工位置处的半导体半成品。现有技术中，用于调节传送压轮对半成品压紧力的部件通常为弹簧，其作用方式如附图1所示。但是在实际过程中，发现弹簧容易逐步失效，需要通过更换弹簧或者调解压紧轮的位置才能使其恢复压紧，造成设备的维护成本比较高。

实用新型内容

本实用新型为克服现有技术存在的问题，提供一种传送压轮，在原有结果基础上改进，使得使用寿命和稳定性大大提高，降低了设备的维护成本。

本实用新型采用的技术方案是：

一种传送压紧机构，整体安装在半导体设备机架上，包括两根箱式滑轨和压紧装置，所述箱式滑轨相对的一侧开设配合的滑槽，所述压紧装置包括：

固定件，设置于所述箱式滑轨顶面；

支撑件，设置于所述箱式滑轨顶面且位于所述固定件一侧；

上压轮，设置于所述支撑件长度方向的一侧端部；

下压轮，设置于所述下压轮的下方；

气缸，具有活塞杆，设置于所述箱式滑轨内且位于所述支撑件远离所述上压轮一端下方；以及

驱动电机，设置于箱式滑轨外侧；

其中，所述固定件与所述支撑件长度方向的一侧中部轴连接；所述上压轮与所述支撑件轴连接；所述活塞杆可伸出所述箱式滑轨顶部与支撑件接触；所述驱动电机与所述下压轮连接。

进一步地，所述支撑件由长：宽：高为5~8：1：1的长方体一端倾斜削去一部分构成，呈楔子状，所述上压轮位于所述支撑件远离斜面的一端，支撑件两边的重心不同，使得上压轮能在自然状态下压住半成品。

进一步地，所述压紧装置至少为四个，两两配合设置于两根箱式滑轨上。

进一步地，所述固定件由上固定件和下固定件上下组合而成，所述支撑件与上固定件和下固定件结合处轴连接，可以调整支撑件的安装高度，从而调整其摆动幅度。

进一步地，在所述上固定件上设置了锁紧螺钉。

进一步地，在所述滑槽长度方向上的两端上表面和下表面对应开设豁口，位于下方的豁口对应的箱式滑轨侧壁上开设窗孔，所述上压轮的边缘下方可伸入位于上方的豁口内，所述下压轮位于所述窗孔内，其边缘顶部突出于下方的豁口，使得上压轮和下压轮的作用区域也位于半成品边缘处。

进一步地，在所述支撑件远离上压轮的一端对应所述箱式滑轨顶部开设通孔，所述活塞杆的轴向中心方向与通孔中心方向重合。

进一步地，所述通孔的直径小于所述支撑件的宽度，大于所述活塞杆的直径。

本实用新型的有益效果是：