[实用新型]一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置有效
| 申请号： | 201921083075.5 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN209537616U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 石建华;谢毅;孟凡英;刘正新 | 申请（专利权）人： | 中威新能源（成都）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34;C23C14/08;C23C14/56;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人： | 何悦 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械输送装置 镀膜装置 阴极装置 阴极结构 导电膜 光电转化效率 本实用新型 太阳能电池 传输方向 独立控制 镀膜工艺 镀膜技术 工艺气体 控制系统 设备条件 差异化 传统的 真空室 靶材 镀膜 两套 兼容 垂直 室内 应用 制造 | ||
1.一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置，其特征在于，包括真空室（301），所述真空室（301）内设置有机械输送装置（306），所述机械输送装置（306）的上方设置有阴极结构，所述阴极结构包括阴极装置（210），所述阴极装置（210）垂直于所述机械输送装置（306）的传输方向设置，所述阴极装置（210）的两侧分别设置有两套独立控制的工艺气体控制系统。
2.根据权利要求1所述的一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置，其特征在于，所述阴极装置（210）包括至少一个阴极或者至少一个阴极组，所述阴极组为两个或者两个以上阴极按孪生排列的方式设置。
3.根据权利要求1所述的一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置，其特征在于，所述工艺气体控制系统包括供气板，所述供气板上均匀交叉排布设置有工艺气匀气装置（231,232）和氧气匀气装置（221,222），所述工艺气匀气装置（231,232）和氧气匀气装置（221,222）均包含若干加工在所述供气板内的供气通道和若干加工在供气板一侧的出气孔，所述出气孔用于使所述供气通道与所述供气板的外界连通。
4.根据权利要求3所述的一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置，其特征在于，所述工艺气匀气装置（231,232）的一端设置有用于控制其供气通道通断及供气流量的控制阀门a（233），所述氧气匀气装置（221,222）的一端设置有用于控制其供气通道通断及供气流量的控制阀门b（223）。
5.根据权利要求4所述的一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置，其特征在于，所述出气孔沿所述阴极装置（210）长度方向上均匀分布，所述出气孔的大小从靠近所述控制阀门a（233）或控制阀门b（223）的一端起沿所述阴极装置（210）的长度方向依次增大。
6.根据权利要求1所述的一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置，其特征在于，还包括TCO靶材（302），所述TCO靶材（302）设置于所述阴极装置（210）和所述机械输送装置（306）之间。
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