[实用新型]一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置

说明书

本实用新型公开了一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置，包括相对设置的电涡流位移传感器、位移系统；位移系统包括压电晶体，压电晶体可伸缩的一端通过连接件与被测体固接；电涡流位移传感器与位移传感器显示器电性连接；压电晶体与压电控制器电性连接。本实用新型解决了现有技术中存在的标定精度低、操作不便的问题。

技术领域

本实用新型属于测量装置技术领域，具体涉及一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置。

背景技术

精密主轴系统简称为精密轴系，在精密加工设备及精密测量仪器上都有应用，如数控机床、光电经炜仪、测角仪以及精密转台等机械结构。精密轴系的回转精度决定了精密设备的性能及价值，也决定了一个国家精密加工及精密测量的技术水平。

在精密轴系工作时，主轴与轴承之间油膜厚度、轴承可倾瓦块摆动及轴颈的振动是影响轴系工作稳定性的主要因素。因此在轴系工作时对润滑油膜厚度、可倾瓦块摆角及轴颈振动进行监测是非常具有意义的。电涡流位移传感器以其非接触、宽带宽、灵敏度高、可靠性高、适应恶劣工作环境等优点被广泛用于精密轴系的测量。

目前对于电涡流位移传感器的标定大多是将被标定位移传感器固定在支架上通过手动旋转千分尺改变距离的方法进行标定。由于千分尺的测量精度为10μm，导致了对于电涡流位移传感器的标定精度较低，从而在进行检测时不够准确。同时，手动旋转的方法也不够方便，也容易为标定的准确性带来其他的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置，解决了现有技术中存在的标定精度低、操作不便的问题。

本实用新型所采用的技术方案是，一种精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置，包括相对设置的电涡流位移传感器、位移系统；位移系统包括压电晶体，压电晶体可伸缩的一端通过连接件与被测体固接；电涡流位移传感器与位移传感器显示器电性连接；压电晶体与压电控制器电性连接。

本实用新型的特点还在于：

电涡流位移传感器与位移系统为一体设计。

电涡流位移传感器与位移系统的设置方式为，包括承载器，承载器相对的两侧面均开设有开孔，其中一侧面开设有开孔a另一侧面开设有开孔b；电涡流位移传感器穿过开孔a并通过连接件与承载器固接；连接件穿过开孔b。

开孔a、开孔b的圆心位于同一水平线。

还包括底座；底座上表面固接有保护罩；电涡流位移传感器、压电晶体不可伸缩的一端均与保护罩固接。

底座采用铸铁制成。

压电晶体的型号为PSt 150/7/20VS12。

本实用新型的有益效果是：

(1)可对精密轴系用电涡流位移传感器进行标定；

(2)可以保证标定精度，精度可达1μm，标定效率高；

(3)本装备结构简单，安全可靠，操作方便；

(4)装备承载器一体化的结构设计可以保证装置的使用寿命；

(5)铸铁制成的装备底座可以保证装备在使用时的平稳，保证标定精度。

附图说明

图1是本实用新型精密轴系用电涡流位移传感器的标定装置的主视图。

图中，1.电涡流位移传感器，2.位移系统，3.压电晶体，4.连接件，5.被测体，6.位移传感器显示器，7.压电控制器，8.承载器，9.开孔a，10.开孔b，11.底座，12.保护罩。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。