[实用新型]一种石英晶片镀膜治具有效

专利信息
申请号: 201921072036.5 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN211256074U 公开(公告)日: 2020-08-14
发明(设计)人: 陈利群 申请(专利权)人: 深圳市利群电子科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518114 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 晶片 镀膜
【权利要求书】:

1.一种石英晶片镀膜治具,包括支撑板(1),其特征在于:所述支撑板(1)的数目为两组,两组所述支撑板(1)的内侧通过转轴转动连接有载板(2),所述载板(2)的一侧固定有手柄(3),所述载板(2)的顶部设置有多组放置腔(4),所述载板(2)的上方设置有盖板(5),所述载板(2)的底部设置有多组第一镀膜孔(6),且第一镀膜孔(6)与放置腔(4)相连通,所述盖板(5)的内部设置有多组第二镀膜孔(7),所述支撑板(1)的上下位置处皆设置有通孔(12),所述通孔(12)的内侧套接有导向柱(13),所述导向柱(13)的末端通过连接板(20)连接有卡柱(21),所述导向柱(13)的外侧套接有弹簧(14),且弹簧(14)位于支撑板(1)和连接板(20)之间,所述导向柱(13)远离卡柱(21)的侧面固定有拉板(15),所述载板(2)靠近支撑板(1)的侧面固定有限位板(16),所述限位板(16)的内部设置有与卡柱(21)相互配合的空腔(17)。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片镀膜治具,其特征在于:所述载板(2)顶部的四角处皆设置有固定柱(9),所述盖板(5)的四角处皆设置有与固定柱(9)相互配合的卡孔(10),所述固定柱(9)的外侧螺纹连接有固定环(11),且固定环(11)位于盖板(5)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种石英晶片镀膜治具,其特征在于:所述支撑板(1)靠近拉板(15)的一侧设置有固定板(18),所述固定板(18)的内部设置有限位孔,所述拉板(15)的底部设置有螺纹孔,所述螺纹孔和限位孔的内侧设置有螺栓(19)。

4.根据权利要求3所述的一种石英晶片镀膜治具,其特征在于:所述固定板(18)的数目为两组,两组所述固定板(18)分别位于拉板(15)的下方。

5.根据权利要求1所述的一种石英晶片镀膜治具,其特征在于:所述盖板(5)的底部设置有多组压块(8),且压块(8)为橡胶材质。

6.根据权利要求1所述的一种石英晶片镀膜治具,其特征在于:所述第一镀膜孔(6)、第二镀膜孔(7)、放置腔(4)和压块(8)的数目和位置相互对应。

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