[实用新型]一种能够调节高度的脚轮和包括该脚轮的SMIF装置

说明书

本实用新型提供一种能够调节高度的脚轮和包括该脚轮的SMIF装置，包括架体和安装在所述架体上的至少一个滚轮，所述架体上设置有能够与设备相连的连接部；还包括螺旋丝杠升降器，所述螺旋丝杠升降器的底座上安装有向上伸出的丝杠，所述丝杠上安装有能够随丝杠转动上下移动的丝杠螺母，所述丝杠螺母固定安装在所述架体，所述丝杠从所述架体上的通孔内向上穿出。本实用新型脚轮上设置有滚轮和螺旋丝杠升降器两个支撑，搬运时使螺旋丝杠升降器的底座升高缩至滚轮上方，来通过滚轮推动，省力方便。到位后使螺旋丝杠升降器的底座降低至滚轮下方进行调平和支撑，既能保证移动时省力方便，又能到位时的快速调平和稳定可靠支撑。

技术领域

本实用新型涉及微电子技术领域，具体地涉及一种能够调节高度的脚轮和包括该脚轮的SMIF装置。

背景技术

目前，半导体加工工艺其多采用半微米(um)及低于半微米的几何尺寸进行加工，几何尺寸为0.1um的污染微粒即可对加工的晶片造成明显的损害。SMIF装置(Standardmechanical interface)可将晶片保存在一个超净的环境中，因此，SMIF装置被广泛用于晶片制造以及在加工工具之间晶片的传送。然而在晶片的传送过程中，SMIF装置与前后传送设备之间往往会出现高度不能匹配的情况，现有做法是在SMIF装置的机台底座下部垫垫片，这种方式调节起来比较繁琐，且费时费力。

另外现有SMIF装置的机台底座下部多通过脚轮直接支撑，为减少移动过程中的震动，脚轮上多设置有橡胶或塑料等减震轮胎圈，然而由于不同支脚位置的支撑力不同，脚轮所受到的压力也会有所不同，所以在机台正常使用一段时间后在不同压力作用下脚轮上的橡胶或塑料等减震结构的塑性变形量也会有所不同，这样会导致SMIF装置机台高度会重新出现偏差，需要重新调整高度，这样无疑加大了操作人员的作业量，因此需要设计一种能够调节高度的脚轮和包括该脚轮的SMIF装置。

实用新型内容

鉴于现有技术的上述缺陷和不足，本实用新型提供一种能够调节高度的脚轮和包括该脚轮的SMIF装置，用于解决现有技术中SMIF装置的机台高度调整起来繁琐费力的问题。

本实用新型是一个方面是提供一种能够调节高度的脚轮，包括架体和安装在所述架体上的至少一个滚轮，所述架体上设置有能够与设备相连的连接部；还包括螺旋丝杠升降器，

所述螺旋丝杠升降器的底座上安装有向上伸出的丝杠，所述丝杠上安装有能够随丝杠转动上下移动的丝杠螺母，所述丝杠螺母固定安装在所述架体，所述丝杠从所述架体上的通孔内向上穿出。

优选地，所述螺旋丝杠升降器为蜗轮螺旋丝杠升降器。

优选地，所述连接部为设置在所述架体上部的连接法兰或连接螺杆。

进一步地，所述连接螺杆下端安装在所述架体上且能绕所述连接螺杆的轴线转动，所述连接螺杆上端设置有能与设备相连接的螺纹。

进一步地，所述架体包括第一滚轮轴架、第二滚轮轴架和滚轮罩，所述滚轮罩设置在所述滚轮的一侧，且前后两侧分别与第一滚轮轴架、第二滚轮轴架相连接。

更进一步地，所述脚轮只设置一个滚轮，所述滚轮的轴体两端分别安装在所述第一滚轮轴架和所述第二滚轮轴架上，所述滚轮罩的下端向背离所述滚轮一侧延伸形成外架，所述丝杠螺母安装在所述外架上。

更进一步地，所述脚轮设置有两个滚轮，所述两个滚轮的轴体分别安装在所述第一滚轮轴架和所述第二滚轮轴架上，且同轴设置在所述第一滚轮轴架和所述第二滚轮轴架之间，所述滚轮罩下端的中部向所述滚轮一侧延伸至所述两个滚轮的轮体之间形成内架，所述丝杠螺母安装在所述内架上。

更进一步地，所述连接螺杆的轴线沿竖直方向垂直平分两个所述滚轮的中心连线。

更进一步地，所述丝杠与所述连接螺杆同轴设置。

更进一步地，所述内架上的通孔两侧设置有加强筋板。