[实用新型]一种半导体设备台板顶部装置部件洗净溶射保护治具

说明书

一种半导体设备台板顶部装置部件洗净溶射保护治具，包括保护面板，所述保护面板采用不锈钢材质，所述保护面板的圆心处开设有螺母孔，所述螺母孔的内部螺纹连接有固定螺栓，所述固定螺栓的一端固定连接有紧固旋钮。该半导体设备PLATEN TOP装置部件洗净溶射保护治具，通过设置有保护面板与固定螺栓，且保护面板采用不锈钢材质，能够使保护面板代替人工用耐热胶带遮蔽部件的非溶射区域，保护范围定位准确，精度高，而且通过固定螺栓固定部件，可以方便拆卸与安装，同时保护面板采用不锈钢材质，不会留下残胶，只需经过适当的清洗就可以使表面光亮如新，达到使用方便、精度高与可以重复使用的目的。

技术领域

本实用新型涉及洗净溶射遮蔽治具技术领域，具体为一种半导体设备台板顶部装置部件洗净溶射保护治具。

背景技术

目前在对半导体设备部件进行洗净再生过程中，溶射工序需要对部件的非溶射区域进行遮蔽保护，通常是采用手工耐高温胶带进行保护，用溶射胶带保护时，依据工艺要求，将胶带根据部件所需要遮蔽的范围进行粘贴，剪切，此做法存在以下三点缺陷：1、溶射后的胶带无法重复利用，增加生产成本。2、用手工胶带剪切保护，受人工作业限制，遮蔽部位范围精度不足，尤其保护边缘位置参次不齐，会造成溶射不良。3、耐高温胶带在使用后会内少量残胶留在表面，再次造成不良。因此本实用新型提出一种半导体设备台板顶部装置部件洗净溶射保护治具，用于解决现有方式的不足。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体设备台板顶部装置部件洗净溶射保护治具，解决了上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体设备台板顶部装置部件洗净溶射保护治具，包括保护面板，所述保护面板采用不锈钢材质，所述保护面板的圆心处开设有螺母孔，所述螺母孔的内部螺纹连接有固定螺栓，所述固定螺栓的一端固定连接有紧固旋钮，所述紧固旋钮的一侧开设有通孔，所述固定螺栓的一侧固定连接有第一防滑软垫，所述保护面板靠近螺母孔的一侧固定连接有第二防滑软垫，所述保护面板的边缘处开设有圆弧倒角，所述第一防滑软垫与第二防滑软垫的位置相对应，所述第一防滑软垫与第二防滑软垫的直径相等。

可选的，所述第一防滑软垫的一侧设置有波浪形凹槽，所述第二防滑软垫靠近第一防滑软垫的一侧开设有波浪形凸起。

可选的，所述第一防滑软垫的波浪形凹槽与第二防滑软垫的波浪形凸起相适配。

可选的，所述固定螺栓的长度大于保护面板的厚度，所述固定螺栓通过螺母孔贯穿于保护面板。

可选的，所述保护面板的底面直径为200.6毫米，所述保护面板的顶面直径为196.6毫米，所述保护面板的厚度为毫米。

可选的，所述螺母孔的公称直径为M16，所述固定螺栓的公称直径与螺母孔的公称直径相适配。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种半导体设备台板顶部装置部件洗净溶射保护治具，具备以下有益效果：

1、通过设置有保护面板与固定螺栓，且保护面板采用不锈钢材质，能够使保护面板代替人工用耐热胶带遮蔽部件的非溶射区域，保护范围定位准确，精度高，而且通过固定螺栓固定部件，可以方便拆卸、安装与定位部件，操作方便简单，同时由于保护面板采用不锈钢材质，表面不会留下残胶，污垢等副产物，洗净溶射遮蔽保护治具可以重复利用，只需经过适当的清洗就可以使表面光亮如新，达到再使用的要求，从而达到使用方便、精度高与可以重复使用的目的。