[实用新型]助力铰链式靶材金属箱

说明书

本实用新型公开了一种助力铰链式靶材金属箱，包括箱体和上盖，所述箱体包括底板及位于底板四周的侧框。所述底板与侧框共同形成用于容纳靶材的放置腔，所述上盖可活动地盖合在所述放置腔上。所述上盖通过铰链结构与所述侧框连接，所述放置腔内设有可沿所述侧框升降的支撑板，所述支撑板的前后两侧均设有多个竖直放置的一号限位板，同侧的相邻两个一号限位板之间限定形成用于取放靶材的取放缺口。所述侧框内侧设有与所述取放缺口位置匹配的二号限位板，所述一号限位板、二号限位板共同限制靶材的放置位置。本实用新型便于快速取出靶材，避免靶材表面损伤，而且避免了取盖的难度，减轻了工人的劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及靶材运输领域，尤其涉及一种助力铰链式靶材金属箱。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光真空溅射设备中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的效应，制作出各种不同作用用途的薄膜材料。在电子及信息产业中，为了防止运输过程中靶材被损坏，通常需要使用金属箱对靶材进行限位装载，现有的金属箱主要包括箱体和上盖，当取放靶材时，需要先将上盖从箱体上取下来，再将靶材放进箱体或从箱体内取出。但在箱体内操作空间较小，靶材取放难度较大，容易造成靶材表面损伤，此外，现有的上盖与箱体是分体式结构，由于上盖是金属材质的，重量较大，取放上盖时工人的劳动强度较大。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种助力铰链式靶材金属箱，便于快速取出靶材，避免靶材表面损伤，而且避免了取盖的难度，减轻了工人的劳动强度。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种助力铰链式靶材金属箱，包括箱体和上盖，所述箱体包括底板及位于底板四周的侧框。所述底板与侧框共同形成用于容纳靶材的放置腔，所述上盖可活动地盖合在所述放置腔上。所述上盖通过铰链结构与所述侧框连接，所述放置腔内设有可沿所述侧框升降的支撑板，所述支撑板的前后两侧均设有多个竖直放置的一号限位板，同侧的相邻两个一号限位板之间限定形成用于取放靶材的取放缺口。所述侧框内侧设有与所述取放缺口位置匹配的二号限位板，所述一号限位板、二号限位板共同限制靶材的放置位置。

进一步来说，所述支撑板包括位于所述底板上方的支撑底板，所述支撑底板的左右两侧分别设有竖直放置的支撑竖板，所述支撑竖板与侧框之间设有用于所述支撑板升降的升降机构；所述升降机构包括固接在所述侧框上的竖直滑轨，所述竖直滑轨上滑动设置有固接在所述支撑竖板上的滑块；所述升降机构还包括用于制停所述滑块移动的升降锁紧组件。通过支撑竖板实现了对靶材左右侧的限位，通过竖直滑轨与滑块的配合实现了支撑底板的升降运动，通过升降锁紧组件实现了对支撑底板移动位置的锁紧。

进一步来说，所述升降锁紧组件包括横向固接在所述侧框上的定位珠，所述支撑竖板上设有用于嵌入所述定位珠的球形凹槽，当所述定位珠嵌入到球型凹槽时，所述支撑底板位于所述侧框上端开口处。通过定位珠与球型凹槽的配合实现了支撑竖板位置的锁紧，进而使得支撑底板能限位在所述侧框上端开口处，便于取放支撑底板上的靶材。

进一步来说，所述上盖包括左右对接设置的左盖、右盖，所述左盖远离所述右盖的一侧通过所述铰接结构与所述侧框连接，所述右盖远离所述左盖的一侧也通过所述铰接结构与所述侧框连接；所述左盖、右盖对接处共同设有用于锁紧的旋转锁。通过左盖、右盖的设置可使上盖从中部向左右两侧开启，便于在箱体前后侧取放靶材；通过旋转锁可实现对左盖、右盖的锁紧。

进一步来说，所述铰接结构包括固接在所述侧框上端的一号固定板、固接在所述上盖上的二号固定板；所述一号固定板上设有固定座，所述固定座内穿设有可横向移动的铰链轴，所述铰链轴的一端套装有限制其移动的螺母，另一端与固接在所述二号固定板上的铰链座铰接；所述铰链座垂直设置在所述二号固定板上，其上端通过铰链销与所述铰链轴铰接。通过铰链轴与铰链座的配合实现了左盖或上盖的转动盖合。