[实用新型]一种硅晶圆测试用探针机台

权利要求书

1.一种硅晶圆测试用探针机台，包括晶圆测试机台(1)、显微观察机(2)和显示装置(3)，其特征在于：所述显微观察机(2)和显示装置(3)均安装在晶圆测试机台(1)的上表面，所述晶圆测试机台(1)的下端表面安装有支撑脚(4)，所述支撑脚(4)包括底板(41)、缓冲橡胶垫(42)、缓冲腔(43)、套环(44)、转球(45)、螺杆(46)和内螺纹套筒(47)，所述缓冲橡胶垫(42)粘合在底板(41)的下表面，所述缓冲腔(43)开设在缓冲橡胶垫(42)的内部，所述套环(44)旋合在底板(41)的上表面，所述转球(45)安装在套环(44)和底板(41)之间，所述内螺纹套筒(47)焊接在晶圆测试机台(1)的内部，所述螺杆(46)的下端焊接在转球(45)的表面，所述螺杆(46)的上端旋合在内螺纹套筒(47)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆测试用探针机台，其特征在于：所述晶圆测试机台(1)的两侧均安装有输送架(5)，所述晶圆测试机台(1)的侧表面开设有限位槽(7)，所述输送架(5)的端部焊接有限位块(6)，所述限位块(6)安装在限位槽(7)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种硅晶圆测试用探针机台，其特征在于：所述输送架(5)包括支架、电机滚筒和输送皮带，电机滚筒安装在支架的表面，输送皮带套接在电机滚筒的外部。

4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆测试用探针机台，其特征在于：所述套环(44)为环形结构，所述套环(44)上端的内径比转球(45)的直径小1cm。

5.根据权利要求1所述的一种硅晶圆测试用探针机台，其特征在于：所述支撑脚(4)共设置有四个，四个所述支撑脚(4)分别位于晶圆测试机台(1)下端的四个拐角处。

6.根据权利要求1所述的一种硅晶圆测试用探针机台，其特征在于：所述转球(45)为球状结构，所述转球(45)的表面开设有正六边形孔。