[实用新型]一种键合剪切力测试机

说明书

本实用新型公开了一种键合剪切力测试机，属于芯片检测装置技术领域，用于解决现有的引线键合剪切力测试过程由于引线的空间位置不同刀具对准不方便的问题。本实用新型包括能升降移动的推刀，推刀上端连接有测试装置本体，推刀的下方设置有相互垂直的导轨总成，导轨总成上端设置有夹具平台，夹具平台上端并排设置有夹持组件和固定刀，固定刀的一端横向连接有旋转盘，旋转盘侧壁设置有移动组件，移动组件连接有固定座，固定刀安装在固定座侧壁，旋转盘背离移动组件的一侧连接有支撑组件。

技术领域

本实用新型涉及芯片检测装置技术领域，更具体的是涉及一种键合剪切力测试机。

背景技术

键合将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理，在一定条件下直接结合，通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。

在芯片技术领域中，通常采用引线键合的方式对芯片和管脚进行电气连接，引线键合是以非常细小的金属引线的两端分别与芯片和管脚键合而形成电气连接，引线键合经常会出现虚焊，金丝受伤或金丝质量不过关等问题，而键合剪切力测试就是检测引线键合是否可靠的方法，需要推刀和固定刀对引线进行剪切，但是剪切力测试过程中由于引线焊接位置不同，引线的空间位置不同，推刀与固定刀对准不方便，存在推刀与固定刀的对准精度差，对准效率低的问题，为此亟待一种解决上述问题的键合剪切力测试机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有的引线键合剪切力测试过程由于引线的空间位置不同刀具对准不方便的问题，本实用新型提供一种键合剪切力测试机。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

本实用新型的键合剪切力测试机，包括能升降移动的推刀，推刀上端连接有测试装置本体，推刀的下方设置有相互垂直的导轨总成，导轨总成上端设置有夹具平台，夹具平台上端并排设置有夹持组件和固定刀，固定刀的一端横向连接有旋转盘，旋转盘侧壁设置有移动组件，移动组件连接有固定座，固定刀安装在固定座侧壁，旋转盘背离移动组件的一侧连接有支撑组件。

本实用新型作为进一步优选的，导轨总成的下端还设置有工作台，工作台上端还设置有竖直导轨，竖直导轨上端设置有伺服电机，竖直导轨上设置有滑座，测试装置本体与滑座相互连接，推刀连接有刀架，刀架上端连接有传感器，测试装置本体还设置有观察显微镜。

本实用新型作为进一步优选的，夹持组件包括两个对称的夹持单元，夹持单元包括导向块、导向螺纹杆、支撑罩、压紧板和压缩弹簧；导向块设置在夹具平台上，导向块开设有与导向螺纹杆相互匹配的第一内螺纹，导向螺纹杆位于支撑罩的外侧，夹具平台上设置有滑槽，支撑罩的下端设置有滑槽相互匹配的滑块，压紧板的一端与支撑罩的内侧壁铰接，压紧板位于夹具平台的上方2-7mm，压紧板上端与支撑罩的上端内壁之间通过压缩弹簧相互连接。

本实用新型作为进一步优选的，移动组件包括两个固定板、丝杠、移动座、两个侧支护板、转动把手；两个固定板分别位于旋转盘的两端，丝杠的两端分别与两个固定板相互连接，丝杠的一端贯穿固定板后与转动把手相互连接，移动座位于两个固定板之间，移动座的下端开设有便于丝杠穿过的通孔，通孔开设有与丝杠相互配合的第二内螺纹，两个侧支护板分别位于丝杠的上下两侧，两个侧支护板的外侧壁均开设有放置槽，移动座的上下两端设置有位于放置槽内的放置块，固定座位于移动座的侧壁。

本实用新型作为进一步优选的，侧支护板设置有刻度尺，移动座一端的下端设置有与刻度尺对准的指针。

本实用新型作为进一步优选的，支撑组件包括支撑板和转轴；支撑板靠近旋转板的一侧设置有凸起，支撑板的另一侧开设有限位槽，旋转盘对应凸起设置有凹槽，转轴依次穿过限位槽、支撑板、凸起、凹槽和旋转板，转轴套设有与限位槽相互匹配的限位块。

本实用新型作为进一步优选的，限位块的截面外形为正多边形。

本实用新型的有益效果如下：