[实用新型]一种方便拿取及清洗的坩埚有效
| 申请号: | 201921044595.5 | 申请日: | 2019-07-05 |
| 公开(公告)号: | CN210287491U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
| 发明(设计)人: | 陈学兵;王光辉 | 申请(专利权)人: | 苏州普京真空技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 孙茂义 |
| 地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 方便 清洗 坩埚 | ||
1.一种方便拿取及清洗的坩埚,其特征在于,包括:坩埚本体,所述坩埚本体呈圆柱结构设置,所述坩埚本体顶部开口处侧壁上设置有坩埚嘴,所述坩埚本体外壁中部设置有凹槽,所述凹槽内间隔设置有多个凸点,所述坩埚嘴一侧设置有三角形倾面结构,所述三角形倾面结构的顶部与坩埚嘴的顶部保持齐平,所述三角形倾面结构的底部与坩埚本体的底部保持齐平,在所述坩埚本体的内侧壁上喷涂有防护涂层,所述坩埚本体顶部还设置有手拉环。
2.根据权利要求1所述的方便拿取及清洗的坩埚,其特征在于,所述防护涂层的材质为氮化硼。
3.根据权利要求1所述的方便拿取及清洗的坩埚,其特征在于,所述防护涂层的厚度为120-150μm。
4.根据权利要求1所述的方便拿取及清洗的坩埚,其特征在于,所述坩埚本体的材质为石墨。
5.根据权利要求1所述的方便拿取及清洗的坩埚,其特征在于,所述凸点呈半球状,所述凸点表面磨砂。
6.根据权利要求1所述的方便拿取及清洗的坩埚,其特征在于,所述手拉环上包裹有隔热垫。
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